실리카 슬러리 희석비가 사파이어 기판의 랩그라인딩 결과에 미치는 영향

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

사파이어 랩그라인딩 후 CMP공정에 관한 연구 : 랩그라인딩 연마액 희석비의 영향

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

사파이어 랩그라인딩 시 자유입자의 사용이 화학기계적 연마 결과에 미치는 영향

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

사파이어 기판의 랩 그라인딩 공정에서 실리카 입자크기에 따른 표면거칠기 안정화에 관한 연구

서준영 ,  김태경 ,  이현섭

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .05

사파이어 웨이퍼의 양면랩그라인딩 공정에서 실리카 입자의 영향에 관한 연구

서준영 ,  김태경 ,  이현섭

한국트라이볼로지학회 학술대회

2018 .04

사파이어 웨이퍼링 공정에서 랩그라인딩과 화학기계적 연마 연계 공정에 관한 연구

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .10

Effect of Free Abrasives on Material Removal in Lap Grinding of Sapphire Substrate

Junyoung Seo ,  Taekyoung Kim ,  Hyunseop Lee

Tribology and Lubricants

2018 .12

랩그라인딩 후 사파이어 웨이퍼의 표면거칠기가 화학기계적 연마에 미치는 영향

서준영 ,  이현섭

Tribology and Lubricants

2019 .12

양면 랩그라인딩 공정에서 실접촉면적이 연마율에 미치는 영향

이현섭 ,  김동균 ,  김종윤 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

랩그라인딩 펠렛의 표면거칠기를 활용한 통계적 재료제거 모델

이현섭 ,  임석연

한국트라이볼로지학회 학술대회

2016 .10

랩그라인딩 압력에 따른 CMP 공정 결과에 대한 연구

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

양면 랩그라인딩 공정에서의 절삭유 유동특성 분석

이현섭 ,  김동균

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

A study on influence of lapping on a low-strength surface of sapphire

L. Li ,  D. W. Lee ,  S. J. Lee 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

Study on Grinding Characteristics of Different Crystal Surfaces of Sapphire

Yi-Qing Yu ,  Ming-Jian Shao ,  Chang-Cai Cui 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

고정용 지그 소재가 사파이어 날 부 칩핑에 미치는 영향

신건휘 ,  곽태수 ,  이승준 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

DLG 공정에서 실리카 입자크기에 따른 사파이어 기판의 연마에 미치는 영향에 관한 연구

서준영 ,  김태경 ,  이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

대면적 사각기판 연삭가공에서 공정조건이 가공 특성에 미치는 영향

이상직 ,  김노원

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

연삭공정의 공정모델 개발 및 최적화 방법에 대한 연구

최정주

한국생산제조학회지

2019 .12

래핑 압력이 산화갈륨(201) 기판의 연마 특성에 미치는 영향

이태경 ,  김진성 ,  김형재

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2021 .12