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사파이어 랩그라인딩 시 자유입자의 사용이 화학기계적 연마 결과에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
사파이어 랩그라인딩 후 CMP공정에 관한 연구 : 랩그라인딩 연마액 희석비의 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
랩그라인딩 후 사파이어 웨이퍼의 표면거칠기가 화학기계적 연마에 미치는 영향
Tribology and Lubricants
2019 .12
사파이어 웨이퍼의 양면랩그라인딩 공정에서 실리카 입자의 영향에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .04
압력 변화가 사파이어 기판의 랩그라인딩 결과에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
랩그라인딩 공정에서의 연마율 모델
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
양면 랩그라인딩 공정에서 실접촉면적이 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
사파이어 기판의 랩 그라인딩 공정에서 실리카 입자크기에 따른 표면거칠기 안정화에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .05
실리카 슬러리 희석비가 사파이어 기판의 랩그라인딩 결과에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
랩그라인딩 펠렛의 표면거칠기를 활용한 통계적 재료제거 모델
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .10
Effect of Free Abrasives on Material Removal in Lap Grinding of Sapphire Substrate
Tribology and Lubricants
2018 .12
양면 랩그라인딩 공정에서의 절삭유 유동특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
랩그라인딩 압력에 따른 CMP 공정 결과에 대한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
A study on influence of lapping on a low-strength surface of sapphire
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2015 .04
DLG 공정에서 실리카 입자크기에 따른 사파이어 기판의 연마에 미치는 영향에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
사파이어 화학기계적 연마에서 결정 방향이 재료제거 특성에 미치는 영향
Tribology and Lubricants
2017 .06
웨이퍼 연삭에서 공정 조건에 따른 연삭액의 유동 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
Study on Grinding Characteristics of Different Crystal Surfaces of Sapphire
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
사파이어 연마에서 결정방향이 재료제거 특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
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