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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.10
- 수록면
- 52 - 53 (2page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (12)
2019
랩그라인딩 후 사파이어 웨이퍼의 표면거칠기가 화학기계적 연마에 미치는 영향
서준영
,
이현섭
Tribology and Lubricants
2019.12
학술저널
사파이어 랩그라인딩 시 자유입자의 사용이 화학기계적 연마 결과에 미치는 영향
서준영
,
김태경
,
손준규
외 1명
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019.10
학술대회자료
사파이어 웨이퍼링 공정에서 랩그라인딩과 화학기계적 연마 연계 공정에 관한 연구
서준영
,
김태경
,
손준규
외 1명
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019.10
학술대회자료
랩그라인딩 압력에 따른 CMP 공정 결과에 대한 연구
서준영
,
김태경
,
손준규
외 1명
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019.05
학술대회자료
사파이어 랩그라인딩 후 CMP공정에 관한 연구 : 랩그라인딩 연마액 희석비의 영향
서준영
,
김태경
,
손준규
외 1명
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019.04
학술대회자료
2018
실리카 슬러리 희석비가 사파이어 기판의 랩그라인딩 결과에 미치는 영향
서준영
,
김태경
,
손준규
외 1명
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018.10
학술대회자료
압력 변화가 사파이어 기판의 랩그라인딩 결과에 미치는 영향
서준영
,
김태경
,
손준규
외 1명
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018.10
학술대회자료
회전속도가 사파이어 기판의 랩그라인딩 결과에 미치는 영향
서준영
,
김태경
,
손준규
외 1명
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2018.10
학술대회자료
사파이어 기판의 랩 그라인딩 공정에서 실리카 입자크기에 따른 표면거칠기 안정화에 관한 연구
서준영
,
김태경
,
이현섭
대한기계학회 춘추학술대회
2018.05
학술대회자료
DLG 공정에서 실리카 입자크기에 따른 사파이어 기판의 연마에 미치는 영향에 관한 연구
서준영
,
김태경
,
이현섭
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018.05
학술대회자료
사파이어 웨이퍼의 양면랩그라인딩 공정에서 실리카 입자의 영향에 관한 연구
서준영
,
김태경
,
이현섭
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018.04
학술대회자료
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2018 .10
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랩그라인딩 공정에서의 연마율 모델
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
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양면 랩그라인딩 공정에서 실접촉면적이 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
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사파이어 기판의 랩 그라인딩 공정에서 실리카 입자크기에 따른 표면거칠기 안정화에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .05
-
실리카 슬러리 희석비가 사파이어 기판의 랩그라인딩 결과에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
-
랩그라인딩 펠렛의 표면거칠기를 활용한 통계적 재료제거 모델
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .10
-
Effect of Free Abrasives on Material Removal in Lap Grinding of Sapphire Substrate
Tribology and Lubricants
2018 .12
-
양면 랩그라인딩 공정에서의 절삭유 유동특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
-
랩그라인딩 압력에 따른 CMP 공정 결과에 대한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
-
A study on influence of lapping on a low-strength surface of sapphire
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2015 .04
-
DLG 공정에서 실리카 입자크기에 따른 사파이어 기판의 연마에 미치는 영향에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
-
사파이어 화학기계적 연마에서 결정 방향이 재료제거 특성에 미치는 영향
Tribology and Lubricants
2017 .06
-
웨이퍼 연삭에서 공정 조건에 따른 연삭액의 유동 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
-
Study on Grinding Characteristics of Different Crystal Surfaces of Sapphire
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
-
사파이어 연마에서 결정방향이 재료제거 특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
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