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학술저널
저자정보
하창완 (한국기계연구원) 김창현 (한국기계연구원) 임재원 (한국기계연구원)
저널정보
제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 논문지 제어로봇시스템학회 논문지 제22권 제7호
발행연도
2016.7
수록면
557 - 561 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2019

OLED 디스플레이 증착공정용 초정밀 자기부상 이송시스템의 Roll, Pitch 자세제어기 설계
하창완 ,  김재영 ,  김창현 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2019.05 학술대회자료

2018

OLED 디스플레이 증착공정용 초정밀 자기부상 물류이송시스템 개발
하창완 ,  김창현 ,  임재원 대한기계학회 논문집 A권 2018.12 학술저널
OLED 디스플레이 증착공정용 초정밀 자기부상 물류이송시스템 개발
하창완 ,  김창현 ,  임재원 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2018.05 학술대회자료

2016

초정밀 자기부상 이송장치의 부상제어기 개발
하창완 ,  김창현 ,  임재원 제어로봇시스템학회 논문지 2016.07 학술저널
초정밀 자기부상 이송장치 기술개발
하창완 ,  김창현 ,  임재원 외 2명 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 2016.03 학술대회자료

초록· 키워드

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Recently, in the manufacturing process of flat panel displays, mass production methods of inline system has been emerged. In particular the next generation OLED display manufacturing process, horizontal inline evaporation process has been tried. It is important for the success of OLED inline evaporation process to develop a magnetic levitation transport system capable of transferring a carrier equipped with a mother glass with high accuracy without any physical contact along the rail under vacuum condition. In the case of existing wheel-based transfer system, it is not suitable for OLED evaporation process requiring high cleanliness. On the other hand, the magnetic levitation transport system has an advantage that it does not generate any dust and it is possible to achieve high-precision control because there are not non-linear factors such as friction force. In this paper, we introduce the high-precision magnetic levitation transport system, which is currently under development, for OLED evaporation process.
#magnetic levitation transport system #maglev #levitation control #OLED evaporation process

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 초정밀 자기부상 이송장치 개발
Ⅲ. 부상제어기 설계
Ⅳ. 실험
Ⅴ. 결론
REFERENCES

참고문헌 (10)

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[단행본] - H. -S. Han / 2016 / Magnetic Levitation: Maglev Technology and Applications / Springer google schola [학술대회논문] - C. -W. Ha / 2016 / Development of high accuracy magnetic levitation transport system / Prof. of the 31st ICROS Annual Conference : 41 ~ 42 google schola [학술지(정기간행물)] - C. -H. Kim / 2011 / Development of a Maglev LCD glass conveyor / Transactions of the KSME A 47 (4) : 581 ~ 587 google schola [학술지(정기간행물)] - C. -H. Kim / 2013 / Dynamic simulation of discontinuously arranged electromagnets for passive tray levitation / Applied Mechanics and Materials 10 (57) : 341 ~ 344 google schola [학술지(정기간행물)] - 박진우 / 2014 / Controller Design with High Fidelity Model for a Passive Maglev Tray System / International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 15 (8) : 1521 ~ 1528 google schola

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임재원 ,  이영학 ,  김창현 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 2016 .03
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