Atomic layer deposition : beyond semiconductor process

박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

반도체 증착 공정 챔버 내 기류 균일 분포를 위한 수치해석적 연구

이승재 ,  허동빈 ,  김태성

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

Investigation of Influence of Deposition Strategies on Thermo-Mechanical Characteristics of Planar Deposition Using a Directed Energy Deposition Process

D. G. Ahn ,  B. L. Chua

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2019 .10

Surface Chemistry Modification for Developing Atomic Layer Deposition Process for the 2D Material and Thin Film Deposition on 2D Materials

전우진

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

SiO₂ 선택적 증착을 위한 소재 및 공정 연구

배건우 ,  이상걸 ,  윤장희

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2024 .10

사물인터넷을 이용한 증착 공정 설계와 해석

소예인 ,  김정호 ,  조성의

한국통신학회 학술대회논문집

2019 .11

반도체공정에서 사용되는 화학물질의 반응위험성 평가

이근원

한국가스학회 학술대회논문집

2015 .07

반도체 장비 시장_거세지는 美 반도체 규제 바람, 반도체 산업 지형도 바뀌나?

서재창

전자기술

2023 .03

반도체 패키징에서 사용되는 표면 처리 공정

서민석

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

제조공장 원료 공정상 발생하는 고압 전력과 원료 공정 변수들의 상관관계 분석

염겨레 ,  김성민 ,  최효섭

대한전자공학회 학술대회

2017 .11

The Properties of ZrO₂ Film Deposition by ALD at Low Temperature

양병찬 ,  신정우 ,  권혁동 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .10

반도체 제조 공정에서 사용되는 이송배관 연결부위(VCR Fitting)로부터 공정유체 누출사고 예방 대책에 관한 연구

이대준 ,  김상령 ,  김상길 외 2명

한국가스학회지

2023 .06

반도체 제조공정 변수 중요도 도출에 대한 연구

최은선 ,  전유정 ,  김진실 외 2명

한국통신학회 학술대회논문집

2020 .08

고효율 TOPCon 태양전지의 SiO_X/poly-Si박막 형성 기법과 passivating contact 특성

김성헌 ,  김태용 ,  정성진 외 5명

신·재생에너지

2022 .03

Thermal stability of doped organic semiconductors

최현경 ,  김민회 ,  이재현

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .10

반도체용 CO₂ 분석 방법 연구

박경흠 ,  한종환 ,  문흥만

한국가스학회 학술대회논문집

2019 .05

R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발

김민식 ,  한권덕 ,  최형종 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

레이저 유도 증착공정을 활용한 투명 기판 상 금속 패턴화 공정 연구

이용훈 ,  최준혁 ,  주지헌 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .11

AI 기반 반도체 증착 공정의 이상 감지 시스템 개발

하민호 ,  Saba A ,  shad 외 2명

제어로봇시스템학회 논문지

2024 .11

[산업통상자원부] 반도체 호황 앞당길 정부의 반도체 산업 전략은?

서재창

전자기술

2023 .08