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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
권대연 (인하대학교) 문진영 (인천재능대학교) 황용우 (인하대학교) 배철호 (한국환경공단)
저널정보
한국위험물학회 한국위험물학회지 한국위험물학회지 제4권 제1호
발행연도
2016.6
수록면
45 - 51 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

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In this study, The HF Mixing process in the semiconductor factory is selected and conducted risk assessment. Risk assessment has been proceeding as the three steps that the risk detection, accident frequency calculation using the ETA technique, damage impact calculation assuming a HF acid leak within the workplace. The damage caused by the failure of the Diaphragm pump is largest in the detected risk 15 using HAZOP and it was selected to conduct ETA as a initiating event. It applied failure probability provided by the OGP(International Association of Oil & Gas Producers) and FMEDA (Failure Modes, Effects, Diagnostic and Analysis). The accident frequency was calculated to highest probability 1.20E-05. To find the strength of the risk assessment, HF gas density was calculated assuming HF acid leak in the Diaphragm pump in the factory Without leakage to the outside. it was calculated to be leak from the pump 1 L/min, liquid surface area 1.49 m²(15minute), evaporation rate 12 g/min, HF gas concentration in the workplace 136.364 ppm(15minute). Safety measures to reduce the risk from the calculated results is to apply Bypass pump, PSV(Pressure safety valve), local exhaust ventilation, negative pressure system and compared to the safety measure.

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 연구 내용 및 방법
Ⅲ. 공정개선에 따른 위험성 저감 방안
Ⅳ. 결론
References

참고문헌 (9)

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