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HiPIMS와 DC 스퍼터링으로 제조한 TiN 박막 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .05
빗각 증착을 이용한 DC와 HIPIMS 스퍼터링 공정조건이 다른 박막의 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .11
Development of high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) techniques
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
DC 마그네트론 스퍼터링의 기판 온도 변수로 성장된 TiN 박막의 특성 평가
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
양극성 HiPIMS 공정을 활용한 낮은 비저항을 갖는 Ag 초박막 증착
대한전자공학회 학술대회
2024 .11
Effect of Cu addition on the microstructure and properties of TiB₂ films deposited by a hybrid HiPIMS deposition system
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
Improving Tribological Properties on Swaging Tool by Stress Control Technology of High Power Impulse Magnetron Sputtering
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .12
스퍼터링으로 제조한 TiN/NiTi 코팅층 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
반응성 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 질화티타늄 박막 특성
공학기술논문지
2024 .09
반응성 스퍼터링으로 제조한 ITO 초박막의 후 열처리에 따른 고 결정화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
High-Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) 기술 적용을 통한 폴리이미드 필름과 금속 박막간의 접착 강도 향상 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .06
공정 조건이 TiN 코팅층의 물성에 미치는 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
플라즈마 스퍼터링 공정용 DC 전원장치에 관한 연구
전력전자학회 학술대회 논문집
2019 .07
스퍼터링으로 증착한 Fe-N 박막의 구조 및 자성 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .11
직류 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 은 박막에서의 산소 검출에 관한 연구
비파괴검사학회지
2018 .10
스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
Influence of Microstructure on the Electrical Properties of Heteroepitaxial TiN Films
Electronic Materials Letters
2018 .01
디스플레이 확산 방지층 응용을 위한 비대칭 마그네트론 스퍼터로 증착된 질화 티타늄 박막의 특성에 대한 연구
전기전자재료학회논문지
2019 .01
이원 동시 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 비정질 ITZO 박막의 열전 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
수전해 양극판의 부식 저항성 향상을 위해 반응성 스퍼터링을 이용한 TiN 박막 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
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