반응성 스퍼터링으로 제조한 ITO 초박막의 후 열처리에 따른 고 결정화

이호윤; 김서한; 송풍근

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저자정보: 이호윤 (부산대학교) 김서한 (부산대학교) 송풍근 (부산대학교)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2018년도 한국표면공학회 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2018.6

수록면: 128 - 128 (1page)

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