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한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제16권 제6호
발행연도
2015.6
수록면
4,131 - 4,136 (6page)

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본 논문은 반사방지막의 성능을 더 정확히 비교 및 분석하기 위하여 기존 방법과 달리 반사방지막에 수직입사가 아닌 입사각이 8? 에서 60? 까지 변화한다고 가정하고 단층 구조와 다층 구조의 반사방지막의 평균반사율을 계산하고 비교하 였다. 입사파의 파장범위를 400 nm ∼ 1200 nm 라고 가정하고, 분석에 사용된 반사방지막의 구조는 두께 180 nm인 1차 및 5차 함수의 굴절률 분포를 갖는 6층 구조와 균일한 굴절률 분포를 갖는 단층구조이다. 분석 결과로써 180 nm 단층구조의 경우 평균반사율이 19.6 % 이고, 같은 두께의 6층 구조의 1차 함수 굴절률 분포에서는 14.2 % 이고, 5차 함수 경우에는 11.6 %의 결과를 얻어 균일한 굴절률 분포의 단층구조 보다 5차 함수 굴절률 분포를 갖는 6층 구조의 경우 약 8%의 반사율 감소 효과를 보았다. 이러한 결과는 향후 광소자 및 광 필터에 적용되는 반사방지막 제작에 용용 될 수 있다고 판단된다

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