결정질 태양전지 적용을 위한 SiNx 이중구조 반사방지막에 관한 연구

공대영; 박승만; 이준신

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 공대영 박승만 이준신

저널정보: 한국신재생에너지학회 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 한국신재생에너지학회 2010년도 춘계학술대회 초록집

발행연도: 2010.6

수록면: 93 - 93 (1page)

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2010

결정질 태양전지 적용을 위한 SiNx 이중구조 반사방지막에 관한 연구

공대영 , 박승만 , 이준신 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2010.06 학술대회자료

2009

PECVD 플라즈마 파워 가변에 따른 SiNx 증착 및 결정질 태양전지 효율 향상에 관한 연구

공대영 , 권태영 , 박형식 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.08 학술대회자료

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반사방지막은 태양전지 표면에서의 광 반사를 낮춰주며, Si wafer 표면에서의 carrier의 재결합을 줄이는 passivation 역할을 한다. 이를 위한 다양한 물질이 반사방지막으로 사용된다. 단일박막은 passivation 효과가 미미하여 최근 passivation 향상에 도움이 되는 이중구조 반사방지막이 널리 연구되어지고 있다. 하지만 물질이 다양해짐에 따라 공정시간 및 비용이 늘어나고, passivation에 최적화된 물질사용이 필수적으로 요구되는 단점이 있다. 따라서 본 연구에서는 기존에 passivation 효과가 뛰어나다고 알려진 SiNx의 굴절률 가변을 통하여 이중구조를 갖는 박막을 반사방지막으로 이용하여 그 특성을 비교, 분석하였다. SiNx 이중반사방지막은 0.8 Torr~1 Torr의 압력에서 450?C의 기판온도로 PECVD를 이용하여 증착되었으며 이때의 plasma power ... 전체 초록 보기

#태양전지 #반사방지막 #이중구조 #SiNx #PECVD

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박승만

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주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 기타 재료·에너지공학

논문수 2 이용수 120

이준신

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