Plasma etching of gallium nitride at high temperature

Zecheng LIU ,  Keigo TAKEDA ,  Hi 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Gallium nitride MIS-HFETs for power switching applications

Ho-Young Cha

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

A parametric study of nanoparticle synthesis by the thermal plasma processing

Cheongbin Cheon ,  Dohan Kim ,  Hae June Lee

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas

김희주 ,  신예지 ,  김교운 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Electrically driven, highly efficient phosphor-free warm white light-emitting diodes based on gallium nitride dodecagonal structure

Young Chul Sim ,  Seung-Hyuk Lim ,  Yang-Seok Yoo 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Nanoparticles Synthesis and Modification using Solution Plasma Process

Mu Kyeom Mun ,  Won Oh Lee ,  Jin Woo Pa 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2017 .11

Synthesis of amorphous nanoparticles by RF and DC thermal plasmas

최수석

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Characteristics of color centers on exfoliated hexagonal boron nitride when focused gallium-ion beam irradiated

Kyujin Kim ,  Jun Hyun Kang ,  Young Dong Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Inductively Coupled Plasma 장치에서 Hybrid Plasma Model을 활용한 C₂F₈/ O₂ 가스의 특성 해석

김환호 ,  이정열 ,  박희성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Experimental investigation on plasma density distribution at a wafer-level in an inductively coupled plasma using multiple passive resonant antennas

홍영훈 ,  김주호 ,  이무현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구

탁현우 ,  문룡 ,  성다인 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Dry etching of Al₂O₃ thin films in inductively coupled plasma system

Seok SON ,  Young Hee JOO ,  Chang Il KIM

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Experimental investigation on the plasma generation efficiency and plasma parameters in inductively coupled plasmas with a serial and a parallel antenna

김태우 ,  강현주 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Analysis of chemical reactions of CF₄ and C₄F₈ for inductively coupled plasma based on plasma parameters

J. J. Lee ,  S. J. Kim ,  Y. S. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Flexible Plasma Sheets

Guangsup Cho ,  Yunjung Kim

Applied Science and Convergence Technology

2018 .03

Inductively Coupled Plasma Simulation Based on Electron Energy Distribution Function and Process Pressure

So ,  a Lee ,  Yejin Shon 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2020 .11

Charterization of large-area N₂/NH₃/SiH₄ inductively coupled plasma using fluid simulation

서권상 ,  김동현 ,  이호준

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Research on parallelization mechanism of inductively coupled plasma for large area plasma source

이장재 ,  김시준 ,  김광기 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Thermal Plasma Synthesis of Ceramic Nanomaterials

Tae-Hee Kim ,  Jeong-Hwan Oh ,  Minseok Kim 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2020 .09

Thermal plasma technology for nanomaterial synthesis

오정환 ,  김민석 ,  홍승현 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08