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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김윤영 (동의대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제41권 제12호(통권 제387호)
발행연도
2017.12
수록면
829 - 834 (6page)
DOI
10.3795/KSME-B.2017.41.12.829

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본 연구에서는 레이저 계측법을 사용하여 나노스케일 금속 박막의 열경계저항을 측정하였다. 전자빔 증착기(e-beam evaporator)를 이용하여 실리콘 웨이퍼 표면에 150 ㎚ 두께의 크로뮴 박막과 알루미늄 박막을 형성하였으며, 120 fs의 펄스 폭을 갖는 펨토초 레이저를 광원으로 하는 열반사 현미경을 구축하여 펄스의 입사에 따른 박막 표면의 열반사율 변화를 측정하였다. 1차원 비정상(unsteady) 열전도 방정식을 수치해석으로 계산하여 측정 결과와 곡선 맞춤 함으로써 열경계저항(σk)을 추정하였으며, 결과로부터 크로뮴과 알루미늄에 대하여 각각 σ<SUB>k,Cr/Si</SUB> =1.0 ㎡ · K/GW와 σ<SUB>k,Al/Si</SUB> =1.7 ㎡ · K/GW의 값을 확인하였다. 본 연구는 나노소자의 열설계를 위하여 높은 시·공간적 분해능으로 재료의 열물성을 측정할 수 있는 방법론을 제시한다.

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 연구 방법
3. 결과 및 토의
4. 결론
참고문헌(References)

참고문헌 (9)

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