지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2017.12
- 수록면
- 829 - 834 (6page)
- DOI
- 10.3795/KSME-B.2017.41.12.829
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
본 연구에서는 레이저 계측법을 사용하여 나노스케일 금속 박막의 열경계저항을 측정하였다. 전자빔 증착기(e-beam evaporator)를 이용하여 실리콘 웨이퍼 표면에 150 ㎚ 두께의 크로뮴 박막과 알루미늄 박막을 형성하였으며, 120 fs의 펄스 폭을 갖는 펨토초 레이저를 광원으로 하는 열반사 현미경을 구축하여 펄스의 입사에 따른 박막 표면의 열반사율 변화를 측정하였다. 1차원 비정상(unsteady) 열전도 방정식을 수치해석으로 계산하여 측정 결과와 곡선 맞춤 함으로써 열경계저항(σk)을 추정하였으며, 결과로부터 크로뮴과 알루미늄에 대하여 각각 σ<SUB>k,Cr/Si</SUB> =1.0 ㎡ · K/GW와 σ<SUB>k,Al/Si</SUB> =1.7 ㎡ · K/GW의 값을 확인하였다. 본 연구는 나노소자의 열설계를 위하여 높은 시·공간적 분해능으로 재료의 열물성을 측정할 수 있는 방법론을 제시한다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 연구 방법
3. 결과 및 토의
4. 결론
참고문헌(References)
참고문헌 (9)
참고문헌 신청
Antonelli, G. A., Perrin, B., Daly, B. C. and Cahill, D. G., 2006, Characterization of Mechanical and Thermal Properties Using Ultrafast Optical Metrology, MRS bulletin, Vol. 31, No. 8, pp. 607~613.
Zhao, D., Qian, X., Gu, X., Jajja, S. A. and Yang, R., 2016, Measurement Techniques for Thermal Conductivity and Interfacial Thermal Conductance of Bulk and Thin Film Materials, Journal of Electronic Packaging, Vol. 138, No. 4, p. 040802.
Hopkins, P. E., 2013, Thermal Transport across Solid Interfaces with Nanoscale Imperfections: Effects of Roughness, Disorder, Dislocations, and Bonding on Thermal Boundary Conductance, ISRN Mechanical Engineering, Vol. 2013, p. 682586.
Shin, S., Cho, H. N., Kim, B. S. and Cho, H. H., 2008, Influence of Upper Layer on Measuring Thermal Conductivity of Multilayer Thin Films Using Differential 3-ω Method, Thin Solid Films, Vol. 517, No. 2, pp. 933~936.
Richardson, C. J. K., Ehrlich, M. J. and Wagner, J. W., 1999, Interferometric Detection of Ultrafast Thermoelastic Transients in Thin Films: Theory with Supporting Experiment, Journal of Optical Society of America B, Vol. 16, No. 6, pp. 1007~1015.
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
증착법에 따른 알루미늄 박막의 열경계저항 변화에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
-
Thermal boundary resistance at Al/Si interfaces
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
-
펌프-프로브 열 반사율 온도측정법을 이용한 박막의 열전도도 계측
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
-
초고속 레이저 열반사 기법을 이용한 Er0.2Y2.8Fe5O12 박막의 열전도율 측정
비파괴검사학회지
2017 .12
-
분자동역학을 이용한 박막의 열경계저항 예측 및 실험적 검증
한국전산구조공학회논문집
2019 .01
-
펨토초 펄스 레이저를 이용한 질화규소 박막의 열물성 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .05
-
Dual-mode 열반사율 계측시스템을 이용한 박막의 열물성 계측
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .04
-
Al 박막의 레이저 가공 성능 개선을 위한 시뮬레이션 평가
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .11
-
레이저 초음파를 이용한 체적종파의 박막 내 전파특성 연구
비파괴검사학회지
2016 .08
-
광섬유 레이저 기반 시간영역 열반사 측정법을 이용한 열물성 측정
대한기계학회 춘추학술대회
2023 .04
-
시간영역 열반사 기법을 이용한 다이아몬드상 탄소 박막의 열물성 측정
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .05
-
500W급 레이저 출력전송 모듈 END CAP의 열적 특성에 관한 시뮬레이션
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
-
Study on the Interfacial Properties of Thermal Conducting Liquid Crystal Composites
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2018 .10
-
Dual-Mode Thermoreflectance를 이용한 질화갈륨 박막의 열전도도 측정
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
-
레이저 소결을 이용하여 제작한 전도성 박막의 기계적 특성 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
-
열반사율 계측기법을 활용한 질화갈륨 박막의 면방향 열전도도 측정
대한기계학회 춘추학술대회
2023 .04
-
레이저 평가법을 활용한 박막의 푸아송비 측정
대한기계학회 논문집 A권
2024 .10
-
펨토초 레이저를 이용한 나노 스케일 초전도 재료의 열전도율 평가
비파괴검사학회지
2015 .10
-
표면파 계측법을 이용한 티타늄 박막의 특성 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
-
Mechanical Characterization of a Tungsten Thin Film Influenced by Phase Transformation Using the Laser-ultrasonic Technique
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-550-001599839