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본 논문에서는 나노스케일 금속박막 내에서 체적종파가 전파하는 특성을 연구하였다. 실리콘(100) 기판 위에 150 nm 두께의 크로뮴 혹은 알루미늄 박막을 적층하여 시편을 제작하였으며, 펨토초 레이저 시스템으로 구성된 시간영역 열반사율 기법(time-domain theromoreflectance technique)을 이용하여 박막 표면으로부터 여기된 탄성파가 박막과 기판의 계면에서 반향될 때 발생하는 신호를 검출하였다. 체적종파의 거동을 모사하는 열탄성 방정식을 수치해석적으로 풀어 측정값과 곡선맞춤함으로써 박막의 체적종파 속도와 탄성계수를 평가할 수 있었으며, 결과를 문헌값과 비교하여 그 타당성을 검증하였다. 본 연구로부터 확립된 레이저 계측법은 나노재료의 특성평가에 적합함을 보여주며, 이는 기존의 접촉식·파괴식 검사법의 한계를 뛰어넘을 대안을 제시한다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 이론 및 수치해석
3. 실험방법
4. 결과 및 고찰
5. 결론
References
참고문헌 (19)
참고문헌 신청
[학술대회논문] - K. Chang / 2013 / The novel stress simulation method for contemporary DRAM capacitor arrays / 2013 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices : 424 ~ 427
[학술지(정기간행물)] - Y. Y. Kim / 2011 / Effects of deposition time duration on thermal diffusivity of hydrogenated amorphous carbon films / Japanese Journal of Applied Physics 50 (12R) : 125602 ~
[학술지(정기간행물)] - Y. Y. Kim / 2011 / Influence of radio frequency power on thermal diffusivity of plasma enhanced chemical vapor deposition-grown hydrogenated amorphous carbon thin-films / Journal of Applied Physics 109 (11) : 113503 ~
[학술지(정기간행물)] - 이형일 / 2008 / 마이크로/나노 압입시험에 의한 재료특성평가 / 대한기계학회논문집 A 32 (10) : 805 ~ 816
[학술지(정기간행물)] - 이동진 / 2012 / 유도초음파 분산 특성을 이용한 박판의 탄성계수 측정 / 비파괴검사학회지 32 (1) : 41 ~ 46
[학술지(정기간행물)] - Y. Y. Kim / 2011 / Effects of deposition time duration on thermal diffusivity of hydrogenated amorphous carbon films / Japanese Journal of Applied Physics 50 (12R) : 125602 ~
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