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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.36 No.6
- 발행연도
- 2019.6
- 수록면
- 531 - 535 (5page)
- DOI
- 10.7736/KSPE.2019.36.6.531
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Picosecond ultrasonic evaluation on the Young’s modulus of a ceramic thin-film was performed in the present study. A 100nm thick silicon nitride thin-film was deposited on a silicon wafer using the plasma enhanced chemical vapor deposition technique and gigahertz-frequency longitudinal bulk waves were excited in the film using a femtosecond laser setup. A thermoelastic equation was numerically solved using the finite difference method and compared to the experimental data to estimate the elastic property of the film. Results show that the present measurement technique can effectively evaluate the film’s Young’s modulus and it is recognized that the modulus is 60-70% lower than that of its bulk status. This study is expected to provide a way to characterize nanoscale ceramics with very high spatial and temporal resolutions for the design and analysis of microelectromechanical systems and thin-film based devices.
목차
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 토의
4. 결론
REFERENCES
참고문헌 (14)
참고문헌 신청
Chang, K. B., Kim, Y. Y., Sue, J., Lee, H., Chung, W. Y., et al., “The Novel Stress Simulation Method for Contemporary DRAM Capacitor Arrays,” Proc. of International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices, pp. 424- 427, 2013.
Lim, T. W. and Yang, D.-Y., “Fabrication of Nano-Size Specimen for Tensile Test Employing Nano-Indentation Device,” Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 32, No. 10, pp. 911-916, 2015.
Paviot, V. M., Vlassak, J. J., and Nix, W. D., “Measuring the Mechanical Properties of Thin Metal Films by Means of Bulge Testing of Micromachined Windows,” Materials Research Society Online Proceedings Library Archive, Vol. 356, p. 579, 1994.
Kim, Y. Y., Lee, S., Park, J., and Cho, Y., “Ultrasonic Characterization of a Resonating High-Speed Microcantilever,” Journal of the Korean Society of Mechanical Engineers, Vol. 41, No. 6, pp. 483-489, 2017.
Saha, R. and Nix, W. D., “Effects of the Substrate on the Determination of Thin Film Mechanical Properties by Nanoindentation,” Journal of the Acta Materials, Vol. 50, No. 1, pp. 23-38, 2002.
Lim, T. W. and Yang, D.-Y., “Fabrication of Nano-Size Specimen for Tensile Test Employing Nano-Indentation Device,” Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 32, No. 10, pp. 911-916, 2015.
Paviot, V. M., Vlassak, J. J., and Nix, W. D., “Measuring the Mechanical Properties of Thin Metal Films by Means of Bulge Testing of Micromachined Windows,” Materials Research Society Online Proceedings Library Archive, Vol. 356, p. 579, 1994.
Kim, Y. Y., Lee, S., Park, J., and Cho, Y., “Ultrasonic Characterization of a Resonating High-Speed Microcantilever,” Journal of the Korean Society of Mechanical Engineers, Vol. 41, No. 6, pp. 483-489, 2017.
Saha, R. and Nix, W. D., “Effects of the Substrate on the Determination of Thin Film Mechanical Properties by Nanoindentation,” Journal of the Acta Materials, Vol. 50, No. 1, pp. 23-38, 2002.
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