Thermal ALD 펄스 시간에 따른 Al₂O₃ 패시베이션막 특성

현지연 ,  김재은 ,  이경동 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

고효율 결정질 실리콘 태양전지 위한 Al₂O₃ 박막의 패시베이션 향상 연구

신경철 ,  민관홍 ,  이정인 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Surface passivation and tunneling effects enabled by atomic layer deposition-Al₂O₃ for crystalline silicon solar cells

Hamcho ,  om CHA ,  Young Joon CHO 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Effects of chemical bondings on hydrogen passivation properties of PECVD SiNx in silicon solar cells

김재은 ,  배수현 ,  현지연 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Effect of annealing temperature on Al2O3 layer for the passivation of crystalline silicon solar cell

Yoon Chung Nam ,  Kyung Dong Lee ,  JaeEun Kim 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

The study for surface passivation effects of tunnel oxide by using atomic layer deposition-Al₂O₃ for crystalline silicon solar cells

Ham Cho Rom Cha ,  Young Joon Cho ,  Hyo Sik Chang

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

결정질 실리콘 태양전지 표면 조직화 크기에 따른 전극형성의 상관관계 분석

김민영 ,  김대성 ,  변성균 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

결정질 실리콘 태양전지 에미터층에 따른 전기적 특성 변화

김민영 ,  변성균 ,  김대성 외 1명

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2015 .02

Surface passivation by atomic layer deposited Al₂O₃

SHUXIN WANG ,  Kang-Hun Jo ,  Hyung Sang Pa 외 2명

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2019 .08

Enhanced silicon surface passivation of atomic layer deposited Al₂O₃ films with surface treatment

Ham Cho Rom Cha ,  Hyo Sik Chang

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2018 .02

대기압 플라즈마를 이용한 결정질 실리콘 태양전지 텍스처링 연구

이태현 ,  온범수 ,  이환희 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Analysis of Post Oxidation Anneal on Silicon wafer Surface Passivation qualities in crystalline Silicon Solar Cells

정성윤 ,  Naga ,  ajan Balaji 외 4명

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2015 .02

실리콘 이종접합 태양전지 적용을 위한 ALD-VOx 박막의 패시베이션 특성 연구

박지혜 ,  장효식

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2020 .08

Surface Texture Techniques for Thin Silicon Wafer Solar Cell

박정은 ,  이민지 ,  강상묵 외 3명

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2017 .08

고주파 (162 MHz) 분할전극 플라즈마 소스를 이용한 저수소 함량의 Silicon nitride (SiNx) 박막증착 및 PEALD 공정에 관한 연구

이승엽 ,  변지영 ,  김기석 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

대기압 RF 플라즈마를 이용한 결정질 실리콘 태양전지 표면 조직화 공정 연구

김우재 ,  이환희 ,  권희태 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

A Brief Review of Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Si₃N₄

You Jin Ji ,  Ki Seok Kim ,  Ki Hyun Kim 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2019 .09

N-type 결정질 태양전지를 위한 p+ 확산시 Ambient에 따른 Fe Concentration 저감에 관한 연구

강지윤 ,  박철민 ,  이준신

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2015 .02

원자층증착법으로 증착된 Al₂O₃ 전자유입층을 이용한 WOx 전기변색소자의 안정성 향상

김보람 ,  반원진 ,  임현아 외 2명

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2017 .02

Electrode formation using Light induced electroless plating in the crystalline silicon solar cells

정명상 ,  강민구 ,  이정인 외 2명

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2016 .02