지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
EUV 리소그래피의 감광제 패터닝 공정에 대한 전산모사
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .04
Synthesis and Lithography of Perfluoro-molecular Resists with High Tg under EUV Radiation
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2021 .04
Interpretation of Line Edge Roughness in Extreme-Ultraviolet (EUV) Lithography using Molecular Simulations
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .04
Tin oxo cluster-based Hybrid Organic-Inorganic Photoresist for EUV Lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2022 .04
PAL-EUV 가속기 터널 공조 환경 정밀제어
한국유체기계학회 학술대회 논문집
2023 .12
친환경 실크 기반 극 자외선(EUV) 감광소재 개발: 다중 스케일 분석 기법
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
EUV 펠리클 투과도에 따른 이미지 전사 특성 분석
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
산의 분포 및 농도가 EUV 리소그래피 공정의 패턴에 미치는 영향: 멀티스케일 전산 모사 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .08
물중탕을 이용한 대면적 SiNx EUV 펠리클 제작
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
멀티스케일 전산모사기법을 이용한 EUV 리소그래피 공정의 포토레지스트 형상 예측
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
EUV pellicle의 standoff 거리에 따른 이미지 전사 특성 평가
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
중성빔 식각기술을 통한 EUV Resist의 손상 감소에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .12
synthesis of Positive-type Photoresist using PBO with various end groups
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .04
Photoresist-derived carbon patterns for transparent electric heating devices
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2018 .04
High-Resolution VIA Pattern using Combination of DSA and EUV Lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2023 .10
Reduction of Line Edge Roughness in Nano-Patterning via Combination Directed Self-assembly (DSA) and Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2023 .04
Synthesis of Fluorinated Molecular Photoresist and Application to Micropatterning of Organic Light Emitting Diodes
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2017 .04
A Study on the Next Generation Ag-Based High Sensitivity Photoresist for E-beam lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2023 .10
Material exposed to light in regularization for positive-tone photoresists
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2017 .04
반도체 제조공정의 포토레지스트 정량 토출 펌프에 관한 연구
한국산학기술학회 논문지
2022 .09
0