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Effect of Slurry Flow in Spray Slurry Nozzle System on Cu CMP
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .02
슬러리와 산소 가스의 비율 조절을 통한 실시간 CMP 온도제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
세리아 슬러리의 분사 두께 분포가 산화막 CMP에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .10
스테인리스 강 종류에 따른 맞춤형 CMP 슬러리 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
구리 후막용 CMP 슬러리의 환경 영향 평가
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .10
CMP 공정을 위한 이온화된 슬러리에 의한 구리 막질의 산화거동에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
다층구조의 CMP 슬러리 여과용 필터 제조 특성 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .12
Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
라만 분광법을 이용한 CMP 공정에서의 슬러리 성분 및 농도 분석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
CMP 공정에서 에너지 절감을 위한 전해 이온 슬러리 효과
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
구리/폴리머의 CMP에서 슬러리 첨가제가 선택비에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
Design a Slurry Constant Temperature Module for Semiconductor CMP Processing using Experimental Design
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
CMP 공정에서 슬러리 분산 안정성 향상을 위한 첨가제 적용 및 최적화 연구
한국에너지기후변화학회 학술대회
2024 .11
전기화학적 특성 분석을 이용한 스테인리스강의 유형에 따른 CMP 슬러리 조성 최적화
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .05
구리 CMP 에서 슬러리 미세분사를 통한 디싱 결함 감소에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
The improvement of tungsten CMP performance by controlling slurry temperature
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
산화막 CMP 공정 중 패드 그루브에 기반한 슬러리 유동과 온도 제어에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .05
니켈 전극을 이용한 전해 이온화 슬러리 CMP 특성 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .04
SiO₂ CMP 에서 스프레이 슬러리 노즐 효과에 대한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
산화망간이 첨가된 혼합 연마제 실리카 슬러리의 산화막 CMP 특성
전기전자학회논문지
2019 .12
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