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저자정보
박성호 (공주대학교) 주영조 (공주대학교) 이기석 (공주대학교) 전의식 (공주대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
719 - 719 (1page)

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최근 디스플레이 원장을 다룰 기술력이 증가하면서 생산성을 높이기 위해 반도체 장비의 크기가 대형화되고 있으며, 정밀도 향상을 위한 장치가 추가되고 있다. 정밀도 향상을 위한 장치 추가로 중량이 증가되는 문제가 발생하며 이를 고려하여 장비를 지지하는 하부 프레임은 높은 강성이 요구하고 있다. 이를 만족하기 위해 하부 프레임을 설계하고 있으나 프레임을 설계하기 위한 설계 기준이 설정되어 있지 않으며, 이에 따라 중량이 증가되는 문제가 발생하고 있다. 따라서 강도 향상과 경량화를 위해 하부 프레임에 관한 파라미터 설정과 최적 설계를 위한 구체적인연구가 필요하다. 본 논문 ... 전체 초록 보기

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