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Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
슬러리와 산소 가스의 비율 조절을 통한 실시간 CMP 온도제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP
한국기계가공학회지
2018 .12
다층구조의 CMP 슬러리 여과용 필터 제조 특성 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .12
구리 후막용 CMP 슬러리의 환경 영향 평가
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .10
CMPSlurry 입자 분포 개선에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
Effect of Slurry Flow in Spray Slurry Nozzle System on Cu CMP
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .02
구리/폴리머의 CMP에서 슬러리 첨가제가 선택비에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
라만 분광법을 이용한 CMP 공정에서의 슬러리 성분 및 농도 분석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
SiO₂ CMP 에서 스프레이 슬러리 노즐 효과에 대한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
Design a Slurry Constant Temperature Module for Semiconductor CMP Processing using Experimental Design
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
세리아 슬러리의 분사 두께 분포가 산화막 CMP에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .10
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
산화막 CMP 공정 중 패드 그루브에 기반한 슬러리 유동과 온도 제어에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .05
Slurry Temperature Effect on Copper CMP
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .05
슬러리 소비 감소를 위한 CMP 분위기 제어를 이용한 슬러리 미스트 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
Cu CMP에서 웨이퍼 크기에 따른 스프레이 노즐의 효과
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
니켈 전극을 이용한 전해 이온화 슬러리 CMP 특성 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2022 .04
스테인리스 강 종류에 따른 맞춤형 CMP 슬러리 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
전기화학적 특성 분석을 이용한 스테인리스강의 유형에 따른 CMP 슬러리 조성 최적화
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .05
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