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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제29권 제6호
발행연도
2016.1
수록면
353 - 358 (6page)

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본 연구에서는 전기저항형 센서 제작을 위한 ITO (indium tin oxide) 인쇄박막 제작공정의 최적 조건에 관하여 연구하였다. 기판의 표면처리와 인쇄용 페이스트의 혼합비 및 점성 등에 따른 전기적 특성과 박막의 전사율의 변화를 조사하고 최적 조건을 결정하였다. 결정된 조건에서 제작된 ITO 인쇄박막을 사용하여 전기저항형 센서를 제작하고 센서의 감도 및 동작 시 열 특성을 확인하였다. 인쇄 박막을 사용한 센서가 스퍼터링으로 제작된 ITO를 사용한 센서와 비교하여 약 102배 정도 높은 감응도를 보였다. 또한 스퍼터 박막의 경우 5 V 정도의 동작전압에서도 127℃ 정도의 동작 온도를 보인데 반해, 인쇄 박막의 경우 30 V 정도의 높은 동작 전압에서도 27.6℃ 정도의 동작 온도를 보여 폭발성 가스 등의 검출에 적합한 센서 구조임을 알 수 있었다.
#Indium Tin Oxide #Gas sensor #Fire sensor

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S. Bai / 2010 / Advanced Functional Materials 21:4464 Crossref M. Batzill / 2006 / Sensors 6:1345 Crossref H. Chen / 2012 / Advanced Functional Materials 22:1229 Crossref L. Qin / 2012 / Semicond. Sci. Technol. 27:045005 Crossref M. Batzill / 2005 / Prog. Surf. Sci 79:47 Crossref

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