메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
손창우 (인천대학교) 서태일 (인천대학교) 김광희 (인천경제산업정보테크노파크) 이선용 (유니락)
저널정보
한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제19권 제6호
발행연도
2018.6
수록면
160 - 166 (7page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
세계적으로 반도체장비 시장은 오래전부터 성장하고 있다. 유체제어시스템은 반도체 제조 장비에 사용되어지는 배관을 집적화시켜 유체의 공급을 제어할 수 있도록 모듈화, 소형화한 시스템이다. 반도체의 제조공정은 여러 종류의 맹독성 가스를 필수적으로 다루어야 한다. 특히 실제 작업 공정에서는 이러한 맹독성 가스의 정밀한 제어가 필요하다. 이러한 맹독성가스를 제어하는 시스템은 피팅, 밸트, 튜브, 필터, 레귤레이터 등 다양한 부품들로 구성되어 있다. 이 부품들은 누출없이 고압 가스를 계속 제어해야 하기 때문에 정밀하게 제조되어야 하고 내부식성이 있어야 한다. 이를 위해 금속 블록 및 금속 가스킷의 표면 가공 및 경화 기술을 연구해야 한다. 본 논문에서는 이러한 유체제어시스템에서 가장 기본이 되는 V-Block의 직경, 유량, 각도를 다르게 설계하여 내부에서 어떠한 유동흐름을 보이는지 파악하고자 하며, 유체제어시스템에서 가장 기본이 되는 유체제어벨브 시스템의 내부 유동해석을 통하여 안정적인 유량을 공급할 수 있는 설계의 최적화에 대해 연구하고 분석하였다.
#Electrolytic Polishing #FEM #Fluid Control System #Hardness #Surface Hardening

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 유체이론
3. V-Block 유동해석
4. 유체제어시스템 하부 유동해석
5. 결론
References

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
J.T. Han, T.H. Lee, D.S. Park, M.R. Son, The Role of Material Gases and Gas Supply System Applied in Semiconductor Process, The Korean Institute of Gas, pp. 292-301, 1997. G.H. Lee, E.S. Lee, M.K. Lee, J.S. Kim, I.J. Bae, Internal Flow Analysis and Structural Design in Plastic Automatic Control Valve for the Semiconductor Chemical Liquid, Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers, 2012. J. A. Davis, M.Stewart, Predicting Globe Control Valve Performance Part 1:CFD Modeling, ASME Journal of Fluids Engineering, vol. 124, pp. 772-777, 2002. DOI: https://doi.org/10.1115/1.1490126 J. A. Davis, M. Stewart, Predicting Globe Control Valve Perfomance Part: Experimental Verification, ASME Journal of Fluids Engineering, Vol. 124, pp. 778-783, 2002. DOI: https://doi.org/10.1115/1.1490126 Y.R. Lee, S.K. Gi, S.G. Jang, Jang, M. J. Do, A Study on Flow Characteristics with the Variation of Fluid Pipe Line in Hydrogen Regulator, Korean Society for Precision Engineering, pp. 939-940, 2017.

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

반도체 칩 테스트용 챔버의 내부 유동 균일성 향상을 위한 설계 최적화
이대규 ,  마상범 ,  김성 외 3명 한국유체기계학회 학술대회 논문집 2021 .12
반도체 칩 테스트용 챔버 형상에 따른 유동 균일성에 대한 수치적 연구
이대규 ,  마상범 ,  김성 외 3명 한국수소및신에너지학회논문집 2020 .10
반도체 스크러버 열회수 장치 성능분석에 대한 수치해석연구
윤종혁 ,  송형운 ,  정희숙 한국에너지기후변화학회 학술대회 2019 .05
반도체 제조 공정용 노광장비의 생산성 개선을 위한 챔버 최적설계에 관한 해석적 연구
이주성 ,  강훈 ,  정종호 외 1명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2013 .11

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-505-003103214