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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.36 No.5
- 발행연도
- 2019.5
- 수록면
- 515 - 519 (5page)
- DOI
- 10.7736/KSPE.2019.36.5.515
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The energy saving effect of reactant plasma in Atomic Layer Deposition (ALD) of ultrathin solid oxide fuel cell electrolyte was examined by measuring electrical current in real time. Actuating a plasma generator led to a remarkable change in electric current and therefore a Plasma Enhanced ALD (PE-ALD) Yttria-Stabilized Zirconia (YSZ) supercycle demanded ~12% higher process energy than a Thermal ALD (T-ALD) YSZ supercycle. Nonetheless, because PE-ALD YSZ electrolyte providing higher growth rate and higher gas tightness needed 2 times smaller cycle number compared to T-ALD YSZ electrolyte, applying oxygen plasma in ALD of YSZ electrolyte resultantly reduced total process energy by ~44%.
목차
1. 배경
2. 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
REFERENCES
참고문헌 (13)
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Lee, Y. H., Chang, I., Cho, G. Y., Park, J., Yu, W., et al., “Thin Film Solid Oxide Fuel Cells Operating Below 600oC: A Review,” International Journal of Precision Engineering and Manufacturing- Green Technology, Vol. 5, No. 3, pp. 441-453, 2018.
Ji, S., Ha, J., Park, T., Kim, Y., Koo, B., et al., “Substrate- Dependent Growth of Nanothin Film Solid Oxide Fuel Cells Toward Cost-Effective Nanostructuring,” International Journal of Precision Engineering and Manufacturing-Green Technology, Vol. 3, No. 1, pp. 35-39, 2016.
Ji, S., Chang, I., Lee, Y. H., Park, J., Paek, J. Y., et al., “Fabrication of Low-Temperature Solid Oxide Fuel Cells with a Nanothin Protective Layer by Atomic Layer Deposition,” Nanoscale Research Letters, Vol. 8, Paper No. 48, 2013.
Shim, J. H., Chao, C. C., Huang, H., and Prinz, F. B., “Atomic Layer Deposition of Yttria-Stabilized Zirconia for Solid Oxide Fuel Cells,” Chemistry of Materials, Vol. 19, No. 15, pp. 3850- 3854, 2007.
Hong, S., Bae, J., Koo, B., and Kim, Y. B, “High-Performance Ultra-Thin Film Solid Oxide Fuel Cell Using Anodized- Aluminum-Oxide Supporting Structure,” Electrochemistry Communications, Vol. 47, pp. 1-4, 2014.
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Hong, S., Bae, J., Koo, B., and Kim, Y. B, “High-Performance Ultra-Thin Film Solid Oxide Fuel Cell Using Anodized- Aluminum-Oxide Supporting Structure,” Electrochemistry Communications, Vol. 47, pp. 1-4, 2014.
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