습식 공정법에 의한 바이오칩 용 패터닝 기판 제조

김진호; 이민; 황종희; 임태영; 김세훈

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김진호 이민 황종희 임태영 김세훈

저널정보: 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제19권 제6호

발행연도: 2009.1

수록면: 288 - 292 (5page)

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LPD법을 이용하여 유리 기판 위에 발수/친수 패터닝 기판을 제조하였다. 발수 표면은 거친 표면을 갖는 ZnO 박막을 FAS를 이용한 표면 개질에 의하여 만들어졌고, 친수 표면은 자외선을 조사하여 FAS를 제거함으로써 만들어졌다. Hexagonal ZnO rod는 LPD법에 의하여 ZnO seed 층이 코팅된 유리 기판 위에 수직으로 성장되었다. 침적시간이 증가함에 따라 ZnO rod의 직경과 두께는 증가하였다. 제조된 ZnO 박막의 표면구조, 두께, 결정구조, 투과율과 접촉각은 FE-SEM, XRD, UV-vis와 contact angle meter를 이용하여 측정하였다. 20o~30o의 접촉각을 갖는 친수 ZnO 박막은 FAS 표면 처리에 의해 145o~161o의 접촉각을 갖는 표면으로 바뀌었다. 제조된 발수 표면은 300 μm, 3 mm의 dot size를 갖는 shadow mask 를 이용하여 자외선을 조사하여 패터닝 되었다. 최종적으로 자외선이 조사된 발수 표면은 친수 표면으로 바뀌었다.

#ZnO thin film #Hydrophobic/hydrophilic surface #LPD #Biochip

참고문헌 (18)

참고문헌 신청

A. Chen / 2004 / Superhydrophobic tin oxide nanoflowers / Chem. Commun. : 1964 ~

A. Nakajima / 2000 / Preparation of hard super-hydrophobic films with visible light transmission / Thin Solid Films 376 : 140 ~

A.V. Rao / 2003 / Superhydropjobic silica aerogels based on methyltrimethoxysilane precursor / J. Non-Cryst. Solids 330 : 187 ~

B.H. Kong / 2007 / Optical and structural properties of ZnO thin films grown on various substrates by metalorganic chemical vapor deposition / Physica B: Condensed Matter 40

C.Y. Tasy / 2008 / Effect of Sn-doped on microstructural and optical properties of ZnO thin films deposited by sol-gel method / Thin Solid Films 517 : 1032 ~

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