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Sol-gel 법으로 제조한 Pb(Sc1/2Nb1/2)O3(이하 PSN) sol을 이용하여 스핀 코팅법으로 Pt(111)/Ti/SiO2/Si 기판위에 제조한 박막의 제조 공정에 따른 영향을 연구하였다. Pt 기판위에 PSN sol을 증착, 건조한 후에 370oC에서 5분간 열처리를
행한 후 10oC/sec의 급속 가열로 600~700oC에서 최종 열처리한 경우에 박막은 (111)면으로 우선 배향하는 것으로 나타났다. 그러나 중간 열처리를 거치지 않고, 급속가열에 의한 최종 열처리만을 행한 경우에는 (100)면으로 우선 배향하는 것으로 나타났다. 한편, 중간 열처리 후 4oC/min의 승온속도로 관상로에서 최종 열처리를 행한 경우에는 (111)면과 (100)면이 동시에 나타나는 것으로 나타났다. 동일한 조건하에서 박막의 두께는 모두 300로 중간 열처리 공정이 어떠한 영향도 미치지 않는 것으로 나타났다.
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Alain C. Pierre / 1998 / Introduction to sol-gel processing
C.K. Kwak / 1993 / Low temperature perovskite formation of lead zirconate titanate thin films by a seeding process / J. Mater. Res. 8 : 339 ~
F. Chu / 1998 / Thickness dependence of the electrical properties of sol-gel derived lead zirconate thin films with (111) and (100) texture / Mater. Res. Soc. Symp. Proc. : 409 ~
G.A.C.M. Spierings / 1991 / Preparation and ferroelectric properties of PbZr0.53Ti0.47O3 thin films by spin coating and metalorganic decomposition / J. Appl. Phys. 70 (4) : 2
H.N. Al-shareef / 1994 / “Ferroelectrics”, 152 : 133 ~
C.K. Kwak / 1993 / Low temperature perovskite formation of lead zirconate titanate thin films by a seeding process / J. Mater. Res. 8 : 339 ~
F. Chu / 1998 / Thickness dependence of the electrical properties of sol-gel derived lead zirconate thin films with (111) and (100) texture / Mater. Res. Soc. Symp. Proc. : 409 ~
G.A.C.M. Spierings / 1991 / Preparation and ferroelectric properties of PbZr0.53Ti0.47O3 thin films by spin coating and metalorganic decomposition / J. Appl. Phys. 70 (4) : 2
H.N. Al-shareef / 1994 / “Ferroelectrics”, 152 : 133 ~
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