Effects of elastic strain on the agglomeration of silicide films for electrical contacts in integrated circuit applications

최준호

추천

검색

자료유형: 학술저널

저자정보: 최준호

저널정보: 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제14권 제3호

발행연도: 2004.1

수록면: 95 - 100 (6page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

This paper reports a potential problem in the electrical performance of the silicide film to silicon contacts withrespect to the scaling trend in integrated circuit (IC) devices. The effects of elastic strain on the aglomeration of thecoherent silicide film embedded in an infinite matrix are studied employing continuum linear elasticity and finite-differencenumerical method. The interface atomic difusion is taken to be the dominant transport mechanism where both capilarityand elastic strain are considered for the driving forces. Under plane strain condition with elasticaly homogeneous andanisotropic system with cubic symetry, the dilatational misfit and the tetragonal misfit in the direction parallel to the filmthickness are considered. The numerical results on the shape evolution agree with the known trend that the equilibriumaspect ratio of the film increases with the elastic strain intensity. When the elastic strain intensity is taken to be only afunction of the film size, the flat film morphology with a large aspect ratio becomes increasingly unstable since theequilibrium aspect ratio decreases, as the film scales. The shape evolution results in a large decrease in contact to siliconarea, and may deteriorate the electrical performances.

#Silicide #Electrical contact #Elastic strain #Epitaxy #Coherent

참고문헌 (16)

참고문헌 신청

/ 1952 / he elastic behavior of a crystalline agre-gate : 349 ~

/ 1981 / heoretical100 J.H. Choyconsiderations on ion channeling effect through silicide-silicon interface : 843 ~

/ 1983 / ilicides for VLSI applications : 4 30 ~

/ 1990 / etermination ofthe elastic constants of a cobalt disilicide intermetalliccompound J. Appl. Phys. 68 : 6515 ~

/ 1992 / On themorphological development of second-phase particlesin elastically-stressed solids Acta Metall. Mater. 40 : 2979 ~

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최준호

소속기관 한국결정성장학회

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 3 이용수 0

최근 본 자료

전체보기

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (16)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

댓글(0)