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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.1
- 수록면
- 239 - 244 (6page)
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에어로졸 증착법에 의해 실리콘 기판위에 10~20 μm의 두께를 가진 PZT 후막을 제조한 후 700 o C에서 어닐링처리하였다. PZT 분말에 의해 제조된 막은 임피던스 분석기(impedance analyzer)와 쇼여-타워 서킷(Sawyer-Tower circuit)으로분석하였다. PZT 분말은 통상적인 고상반응법 및 솔-젤 법으로 준비되었다. 고상반응법으로 만들어진 분말을 사용한10 μm 두께 PZT 막의 잔류분극, 항전계 및 유전상수는 각각 20 μC/cm 2 , 30 kV/cm 그리고 1320이었다. 한편 솔-젤 법으로제조된 분말을 사용한 경우의 유전상수는 635로 비교적 낮은 값을 나타낸다. 이는 어닐링시 생기는 발생하는 유기물에 의한 기공의 존재 때문이다.
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A. L. Khilkin / 2001 / PZT-based piezoelectric composites via modified sol-gel route / J. Euro. Ceram. Soc 21 : 1535 ~
A.G. Evans / 1995 / The thermomechanical integrity of thin films and multilayers / Acta Metall. et Mater 43 : 2507 ~
G.H. Haertling / 1999 / Ferroeletric ceramics: History and technology / J. Amer. Cera. Soc 84 : 797 ~
J. Akedo / 1999 / Microstructure and electrical properties of lead zirconate titanate thick films deposited by aerosol deposition method / Japan J. Appl. Phys 38 : 5397 ~
J.J. Choi / 2007 / Preparation of highly dense PZN-PZT thick films by the aerosol deposition method using excess PbO powder / J. Amer. Cera. Soc 90 : 3389 ~
A.G. Evans / 1995 / The thermomechanical integrity of thin films and multilayers / Acta Metall. et Mater 43 : 2507 ~
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J.J. Choi / 2007 / Preparation of highly dense PZN-PZT thick films by the aerosol deposition method using excess PbO powder / J. Amer. Cera. Soc 90 : 3389 ~
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