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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2017.9
- 수록면
- 541 - 545 (5page)
- DOI
- https://doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.9.541
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PZT [Pb (Zr0.52Ti0.48) O3]의 위상 변화와 전기적 특성을 조사하기 위해 두께 방향으로 5-10㎛의 두께를 갖는 필름을 에어로졸 증착법으로 제작 하였다. PZT AD 필름은 실온에서 결정 성이 낮고 치밀한 구조를 지닌 나노 크기의 입자를 나타 냈습니다. As-deposited AD는 정방 정계와 능 면체 정계의 두상의 혼합물을 보여 주었다. 어닐링 온도를 제어하여 상전이 거동을 조절합니다. 결정 성 AD PZT 후막은 450, 550 및 650 ℃에서 2 시간 동안 어닐링함으로써 향상되었다. AD PZT 막을 650 ℃에서 열처리 하였을 때, 정방 정계와 능 면체 정계가 반응하여 두 상간에 중간상이 형성되었다. (P-E) 히스테리시스 루프는 650 ℃에서 어닐링 된 AD 필름이 낮은 항정계와 작은 이력곡선을 나타내었다.
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참고문헌 (19)
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Thomas R. Shrout / 2007 / Lead-free piezoelectric ceramics: Alternatives for PZT? / Journal of Electroceramics 19(1):113~126
Clive A. Randall / 1998 / Intrinsic and Extrinsic Size Effects in Fine-Grained Morphotropic-Phase-Boundary Lead Zirconate Titanate Ceramics / Journal of the American Ceramic Society 81(3):677~688
Jun Akedo / 1999 / Microstructure and Electrical Properties of Lead Zirconate Titanate (Pb(Zr 52 /Ti 48 )O 3 ) Thick Films Deposited by Aerosol Deposition Method / Japanese Journal of Applied Physics 38(Part 1, No. 9B):5397~5401
Masafumi Nakada / 2005 / Electro-Optic Properties of Pb(Zr1-xTix)O3(X=0, 0.3, 0.6) Films Prepared by Aerosol Deposition / Japanese Journal of Applied Physics 44(No. 34):L1088~L1090
J. Akedo / 2003 / Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 778:289
Clive A. Randall / 1998 / Intrinsic and Extrinsic Size Effects in Fine-Grained Morphotropic-Phase-Boundary Lead Zirconate Titanate Ceramics / Journal of the American Ceramic Society 81(3):677~688
Jun Akedo / 1999 / Microstructure and Electrical Properties of Lead Zirconate Titanate (Pb(Zr 52 /Ti 48 )O 3 ) Thick Films Deposited by Aerosol Deposition Method / Japanese Journal of Applied Physics 38(Part 1, No. 9B):5397~5401
Masafumi Nakada / 2005 / Electro-Optic Properties of Pb(Zr1-xTix)O3(X=0, 0.3, 0.6) Films Prepared by Aerosol Deposition / Japanese Journal of Applied Physics 44(No. 34):L1088~L1090
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