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논문 기본 정보

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저자정보
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제25권 제1호
발행연도
2018.1
수록면
35 - 40 (6page)

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Nd:YAG Laser를 이용하여 polyimide film에 탄화(carbonization)를 진행하여 Carbon을 생성하여 저가의 센서를 간단한 제조과정으로 만들었다. 이를 통하여 유연한 저가형 압저항 센서의 특성에 관한 연구를 수행하였다. 기존에 많은 연구들이 Polyimide에 10.6 μm의 파장을 가지는 CO2 laser를 이용하여 carbonization을 하여 센서를 제작하였다. 본논문에서는 polyimide film에 1.064 μm의 파장을 가지는Nd:YAG laser 를 이용하여 carbonization(탄화공정)을 진행하였다. 또한 Nd:YAG laser를 사용하여 polyimide film위에 직접 탄화시키며 carbon을 생성하는 최적의 전력밀도(W/cm2)과속도(scan rate) 조건 조합을 찾아 해상도를 높였다. CO2 laser를 사용하였던 기존의 선행연구에서는 carbon생성의 최소선폭이 140~220 μm의 길이를 가졌지만, 본 연구에서는 카본의 생성되는 선폭이 35~40 μm 으로 축소시켰다. 이번 연구에서 제작된 센서의 초기 면저항은 100~300 Ω/□ 이였다. 곡률 반경 21 R 로 인장을 하였을 때 저항이 30% 줄어들었고, 이를 통하여 계산된 게이지 팩터는 56.6이였다. 본 연구는 압저항 센서를 제조하기 위한 단순하고, 매우 유연하고 저렴한공정을 제공한다.

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참고문헌 (18)

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임재욱 / 2004 / CNT 및 CNF를 이용하여 제조된 전극 촉매 및 막 전극 접합체의 특성 / 마이크로전자 및 패키징학회지 11(1):59~64 google schola 이태원 / 2015 / 인장변형에 따른 그래핀복합 카본블랙전극의 저항변화연구 / 마이크로전자 및 패키징학회지 22(1):55~61 dbpia J.-J. Wang / 2016 / Piezoresistive nanocomposite rubber elastomer for stretchable MEMS sensor / Proc. 29th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) :550 google schola F. Michelis / 2015 / Highly reproducible, hysteresis-free, flexible strain sensors by inkjet printing of carbon nanotubes / Carbon 95:1020 Crossref S. Yao / 2014 / Wearable multifunctional sensors using printed stretchable conductors made of silver nanowires / Nanoscale 6(4):2345 Crossref

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