초박형 태양전지의 Porous Si Layer Transfer 기술 적용을 위한 전기화학적 실리콘 에칭

이주영; 한원근; 이재호

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이주영 한원근 이재호

저널정보: 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제16권 제4호

발행연도: 2009.1

수록면: 54 - 60 (7page)

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불산과 에탄올 혼합용액에서 전기화학적 에칭을 통하여 다공성 실리콘 층을 제작하였다. 에칭 시 인가된 초 음파의 주파수, 전류밀도, 에칭시간의 변화에 따른 다공성 실리콘 층의 변화를 확인하였다. 초음파를 가해주지 않은 시편 은 표면에 특별한 변화가 일어나지 않았으나, 초음파 진동자의 주파수가 40 kHz와 130 kHz인 초음파 발생조에서 실험한 시편을 관찰한 결과, 가해준 초음파의 주파수가 높을수록 다공성 실리콘 층의 기공의 크기가 더 커지고 실리콘 표면에서 의 에칭이 더 균일하게 일어났다. 후면접촉 에칭조와 current shield를 이용한 결과 다공성 실리콘 층 전면에 걸쳐 균일하 게 기공이 발생하였다. 다공성 실리콘 층의 기공의 크기는 전류밀도가 증가함에 따라 함께 증가하였고, 에칭 시간에는 영 향을 받지 않았다.

#Porous silicon #Electrochemical etching #Layer transfer #Ultrasonic

참고문헌 (9)

참고문헌 신청

C.S. Solanki / 2004 / Porous silicon layer transfer processes for solar cells / Solar Energy Materials & Solar Cells 83 : 101 ~

J. Zhao / 1999 / 24.5% efficiency silicon PERT cells on MCZ substrate and 24.7% efficiency PERL cells on FZ substrates / Prog. Photovoltaics Res. Appl 7 : 417 ~

O. Tobail / 2008 / Porous Silicon for Thin Solar Cell Fabrication / 박사 / Univ. Stuttgart

R. Auer / 2003 / Simplified transfer process for high-current thin film crystalline Si solar moducles / 3rd World Conference on Photovoltaic Energy Conversion : 1479 ~

R.B. Bergmann / 2001 / Thin film solar cells on glas based on the transfer of monocrystalline Si films / Solar Energy Materials & Solar Cells 65 : 355 ~

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