다결정 실리콘 태양전지 제조를 위한 비정질 실리콘의 알루미늄 유도 결정화 공  정 및 결정특성 연구

정혜정; 이종호; 부성재

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정혜정 이종호 부성재

저널정보: 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제20권 제6호

발행연도: 2010.1

수록면: 254 - 261 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

다결정 실리콘 태양전지 제조를 위한 비정질 알루미늄 유도 결정 입자 특성

정혜정 , 김호성 , 이호재 외 1명 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2010.11 학술대회자료

다결정 실리콘 태양전지 제조를 위한 비정질 실리콘의 알루미늄 유도 결정화 공 정 및 결정특성 연구

정혜정 , 이종호 , 부성재 한국결정성장학회지 2010.01 학술저널

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본 연구에서는 다결정 실리콘 태양전지 응용을 위한 다결정 실리콘 씨앗층의 제조와 그의 특성에 관한 연구를수행하였다. 다결정 실리콘 씨앗층은 glass/Al/Al2O3/a-Si 구조를 이용하여 aluminum-induced layer exchange(ALILE) 공정으로 제조하였으며, 자연산화막부터 50 nm까지 다양한 크기로 Al2O3 막두께를 변화시켜 알루미늄 유도 결정화 공정에서 산화막의 두께가 결정화 특성 및 결정결함, 결정크기에 미치는 영향에 대하여 조사하였다. 연구결과, ALILE 공정으로 생성된다결정 실리콘막의 결함은 Al2O3 막의 두께가 증가할수록 함께 증가한 반면, 결정화 정도와 결정입자의 크기는 Al2O3막의두께가 증가할수록 감소하였다. 본 실험에서는 16 nm 두께 이하의 얇은 Al2O3 막의 구조에서 평균 약 10 μm 크기의 subgrain 결정립을 얻었으며, 결정성은 <111> 방향의 우선 배향성 특성을 보였다.

#Aluminum-induced crystallization #AIC) #Amorphous silicon #Crystallization #Poly-crystalline silicon film #Solar cell

참고문헌 (8)

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A. Feltrin / 2008 / Material considerations for terawatt level deployment of photovoltaics / Renewable Energy 33 : 180 ~

C. Spinella / 1998 / Crystal grain nucleation in amorphous silicon / J. Appl. Phys. 84 : 5383 ~

G. Ekanayake / 2006 / Large-grained poly-silicon thin films by aluminium-induced crystallization of microcrystalline silicon / Jounal of Crystal Growth 293 : 351 ~

I. Gordon / 2007 / 8 % efficient thin-film polycrystalline-silicon solar cells based on aluminum-induced crystallization and thermal CVD / Progress in Photovoltaics: Research

K.R. Catchpole / 2001 / A Review of thin-film crystalline silicon for solar cell applications. Part 2: Foreign substrates / Solar Energy Materials & Solar Cells 68 : 173

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