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인문사회과학기술융합학회 예술인문사회 융합 멀티미디어 논문지 예술인문사회 융합 멀티미디어 논문지 제8권 제7호
발행연도
2018.1
수록면
497 - 504 (8page)

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박막은 제조 장비와 박막 초기 생성 조건에 따라서 다양한 입자의 형상을 가질 수 있다. 제조된 박막 입자의 크기는 작게는 수 나노미터부터 수십 마이크로미터 까지 다양하게 성장이 되어 진다. 박막의 생성은 온도조건, 증착시간, 유입되는 가스의 양, 그리고 박막을 만드는 공간의 진공상태가 입자의 형상을 각진 모습부터 둥근 형태등의 형상을 만들 수 있다. 본 연구에서는 스퍼터내 내부 환경을 변화시킨 후 실리콘 금속기판과 유리 기판위에 산화아연을 성장시켜서 박막의 입자 성장이 어떻게 변화되는가를 관찰 하였다. 성장된 박막은 전자 현미경을 통하여 관찰하였다. 전자현미경을 통해서 박막의 표면을 관찰한 결과 입자의 형상은 각진 모습, 원형모습, 입자들이 뭉쳐져 성장이 되는 다양한 모습등이 관찰 되었고, 입자의 크기도 수 나노미터부터 수 마이크로미터까지 다양한 모습이 관찰되었다. 박막의 단면의 형상도 주상구조부터 원형기둥까지 다양한 형상이 관찰되어서 박막의 초기 조건이 박막입자의 형상과 박막의 계면, 단면의 형상에 영향을 미치는 것을 확인하였다.
#Electron microscope #Grain #Size #Shape #Abnormal Grain

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I. Hamberg / 1986 / Journal of Appl. Phys (60):123 google schola C. G. Granqvist / 1993 / Journal of Appl. Phys. A 57:19~21 google schola S. Smith / 2004 / Appl. Phys. Lett 84:5019~5021 google schola Y. J. Lin / 2008 / Journal of Appl. Phys 103:063702 google schola K. Ozaki / 2002 / Jpn. Journal of Appl. Phys 41:5614~5617 google schola

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