메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
인문사회과학기술융합학회 예술인문사회 융합 멀티미디어 논문지 예술인문사회 융합 멀티미디어 논문지 제8권 제7호
발행연도
2018.1
수록면
497 - 504 (8page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

초록· 키워드

오류제보하기
박막은 제조 장비와 박막 초기 생성 조건에 따라서 다양한 입자의 형상을 가질 수 있다. 제조된 박막 입자의 크기는 작게는 수 나노미터부터 수십 마이크로미터 까지 다양하게 성장이 되어 진다. 박막의 생성은 온도조건, 증착시간, 유입되는 가스의 양, 그리고 박막을 만드는 공간의 진공상태가 입자의 형상을 각진 모습부터 둥근 형태등의 형상을 만들 수 있다. 본 연구에서는 스퍼터내 내부 환경을 변화시킨 후 실리콘 금속기판과 유리 기판위에 산화아연을 성장시켜서 박막의 입자 성장이 어떻게 변화되는가를 관찰 하였다. 성장된 박막은 전자 현미경을 통하여 관찰하였다. 전자현미경을 통해서 박막의 표면을 관찰한 결과 입자의 형상은 각진 모습, 원형모습, 입자들이 뭉쳐져 성장이 되는 다양한 모습등이 관찰 되었고, 입자의 크기도 수 나노미터부터 수 마이크로미터까지 다양한 모습이 관찰되었다. 박막의 단면의 형상도 주상구조부터 원형기둥까지 다양한 형상이 관찰되어서 박막의 초기 조건이 박막입자의 형상과 박막의 계면, 단면의 형상에 영향을 미치는 것을 확인하였다.

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (18)

참고문헌 신청

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0