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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
강종욱 (조선대학교 물리학과) 방태환 (조선대학교 물리학과) 정진 (조선대학교)
저널정보
인문사회과학기술융합학회 예술인문사회 융합 멀티미디어 논문지 예술인문사회 융합 멀티미디어 논문지 제7권 제8호
발행연도
2017.8
수록면
297 - 304 (8page)
DOI
http://dx.doi.org/10.14257/ajmahs.2017.08.68

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RF 스퍼터 방법을 이용하여 산화주석 박막을 증착 하였다. 스퍼터 쳄버의 증착 온도는 300도로 고정하고 외부에서 산소를 쳄버내로 흘려주어 실리콘(100) 기판위에 산소층을 만들었다. 쳄버내 파워의 세기를 100, 150, 200W 로 변화시켜서 각각의 SnO2박막을 만들었다. 증착된 산화주석 박막의 구조를 알아보기 위하여 X-선 회절장치를 이용하여 산화주석 박막을 분석하였다. X선 회절 결과에서 SnO2박막은 공급된 파워의 세기가 증가되었을 때 박막의 주성장면인 (110)면, (211)면, (101)면등 모든 성장면의 세기가 일정한 변화를 보였다. 산화주석 박막의 표면 사진에서 공급된 파워의 세기가 증가됨에 따라 산화주석 박막의 형상은 원형 형상을 보였고, 공급된 파워 세기가 증가됨에 따라서 박막 표면의 입자 사이즈 크기도 증가되었다. 공급된 파워의 세기가 증가될 때 SnO2박막의 홀 표면 전하 밀도는 2.646×1014, 3.071×1014, 1.747×1015 cm-2 으로 증가되어서 공급된 파워의 세기가 박막내의 수송 전하 밀도에 영향을 주었다. 박막의 증착환경의 변화가 박막내의 표면 형상과 전기적 성질에 영향을 미치는 것으로 확인 되었다.
#산화주석 #박막 #운반자밀도. 입자크기 #결함 #SnO2 #Thin Films #Carrier density #Grain size #Imperfection

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참고문헌 (11)

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Z. M. Jarzebski / 1976 / J. Electrochem. Soc 123(7):199~205 google schola M. S. Choe / 1979 / New Physics 19(3):174~178 google schola Y. K. Fang / 1989 / Thin Solid Films 169(21):51~56 google schola V. Vasu / 1990 / Thin Solid Films 193(2):937~980 google schola B. W. Rah / 1982 / New Physics 22(3):271~274 google schola

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