큰 결정 크기를 가지는 단일층 그래핀 성장을 위한 구리 호일의 전해연마 공정 최적화

김재억; 박홍식

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김재억 박홍식

저널정보: 한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제26권 제2호

발행연도: 2017.1

수록면: 122 - 127 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2018

Evaluation of grain size, grain sheet resistance, and grain boundary resistivity of CVD-grown polycrystalline graphene : 화학기상증착법으로 합성된 다결정 그래핀의 결정 크기, 결정의 면 저항 및 결정 간 경계의 비저항 평가방법 개발

김재억 전자공학부 2018.01 학위논문

2017

큰 결정 크기를 가지는 단일층 그래핀 성장을 위한 구리 호일의 전해연마 공정 최적화

김재억 , 박홍식 센서학회지 2017.01 학술저널

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Graphene grown on copper-foil substrates by chemical vapor deposition (CVD) has been attracting interest for sensor applications due to an extraordinary high surface-to-volume ratio and capability of large-scale device fabrication. However, CVD graphene has a polycrystalline structure and a high density of grain boundaries degrading its electrical properties. Recently, processes such as elec- tropolishing for flattening copper substrate has been applied before growth in order to increase the grain size of graphene. In this study, we systemically analyzed the effects of the process condition of electropolishing copper foil on the quality of CVD graphene. Weobserved that electropolishing process can reduce surface roughness of copper foil, increase the grain size of CVD graphene, and min-imize the density of double-layered graphene regions. However, excessive process time can rather increase the copper foil surface rough-ness and degrade the quality of CVD graphene layers. This work shows that an optimized electropolishing process on copper substrates is critical to obtain high-quality and uniformity CVD graphene which is essential for practical sensor applications.

#graphene #electropolishing #surface roughness #grain boundary

참고문헌 (19)

참고문헌 신청

B. Zhang / 2012 / Ultra-sensitive suspended graphene nanocomposite cancers with strong suppression of electrical noise / Biosens. Bioelectron 31 : 105 ~ 109

D. H. Duong / 2012 / Probing graphene grain boundaries with optifcal microscopy / Nature 490 : 235 ~ 239

F. Schedin / 2007 / Detection of individual gas molecules adsorbed on graphene / Nat. Mater 6 : 652 ~ 655

G. H. Han / 2011 / Influence of copper morphology in forming nucleation seeds for graphene growth / Nano Lett 11 : 4144 ~ 4148

H. Choi / 2007 / Flexible and transparent gas molecule sensor integrated with sensing and heating graphene layers / small 10 : 3685 ~ 3691

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김재억

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주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

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박홍식

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