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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.1
- 수록면
- 501 - 506 (6page)
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Carbon nanotubes (CNTs) were grown with a microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (MPECVD) method, which has been regarded as one of the most promising candidates for the synthesis of CNTs due to the vertical alignment, the low temperature and the large area growth. MPECVD used methane (CH4) and hydrogen (H2) gas for the growth of CNTs. 10 nm thick Ni catalytic layer were deposited on the Ti coated Si substrate by RF magnetron sputtering method. In this work, the pretreatment was that the Ni catalytic layer in different microwave power (600, 700, and 800 W). After that, CNTs deposited on different pressures (8, 12, 16, and 24 Torr) and grown same microwave power (800 W). SEM (Scanning electron microscopy) images showed Ni catalytic layer diameter and density variations were dependent with their pretreatment conditions. Raman spectroscopy of CNTs shows that ID/IG ratios and G-peak positions vary with pretreatment conditions.
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/ 1970. / Raman spectrum of graphite 53 : 1126 ~
/ 1988. / Raman spectra of diamondlike amorphous carbon films 64 : 6464 ~
/ 1994. / Structural investigation of xenon- ion-beam-irradiated glassy carbon 50 : 5905 ~
/ 1996. / Science of Fullerenesand Carbon Nanotubes
/ 1997. / Atomic structure and electronic properties of single-walled carbon 388 : 756 ~
/ 1988. / Raman spectra of diamondlike amorphous carbon films 64 : 6464 ~
/ 1994. / Structural investigation of xenon- ion-beam-irradiated glassy carbon 50 : 5905 ~
/ 1996. / Science of Fullerenesand Carbon Nanotubes
/ 1997. / Atomic structure and electronic properties of single-walled carbon 388 : 756 ~
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