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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.1
- 수록면
- 367 - 373 (7page)
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In2O3-ZnO(IZO) and In2O3-ZnO-SnO2(IZTO) thin films were prepared on EAGLE 2000 glass webs in a Ar gas by RF-Magnetron sputtering. Electrical resistivity and optical transmittance of the films were investigated. IZO, IZTO film showed excellent optical transmittance of 85 % at the visible 400∼780 ㎚ wavelength. Electrical properties of IZO film have 6.50× 10-4 Ω㎝ (95 In2O3 : 5 ZnO wt.%) and 5.20×10-4 Ω㎝ (90 : 10 wt.%), IZTO film have 8.00×10-4 Ω㎝ (90 In2O3 : 3 ZnO : 7 SnO2 wt.%) and 6.50×10-4 Ω㎝ (90 : 7 : 3 wt.%). Substitution of SnO to ZnO in ITO films showed slightly lower electrical conductivity than ITO film but showed similar optical transmittance.
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F. C. Lin / 1995 / Zinc-oxide varistor gas sensors : I, Effect of Bi2O3 content on the H2-sensing properties / J. Am. Ceramic Society 78 : 2301 ~
K. L. Chopra / 1983 / Transparent conductors / Thin Solid Films 102 (1, 8) : 1 ~
N. Horio / 1998 / Preparation of zinc oxide/metal oxide multilayered thin films for low-voltage varistors / Vacuum 51 (4, 1) : 719 ~
Wu, M. S. / 1989 / Low-loss ZnO optical waveguides for SAW-AO applications / IEEE Trans, Ultrasonics, Ferroelectrics, Freq. Control 36 : 442 ~
Y. Morinaga / 1997 / Effect of Ce doping on the growth of ZnO thin films / J. Crystal Growth 174 : 691 ~
K. L. Chopra / 1983 / Transparent conductors / Thin Solid Films 102 (1, 8) : 1 ~
N. Horio / 1998 / Preparation of zinc oxide/metal oxide multilayered thin films for low-voltage varistors / Vacuum 51 (4, 1) : 719 ~
Wu, M. S. / 1989 / Low-loss ZnO optical waveguides for SAW-AO applications / IEEE Trans, Ultrasonics, Ferroelectrics, Freq. Control 36 : 442 ~
Y. Morinaga / 1997 / Effect of Ce doping on the growth of ZnO thin films / J. Crystal Growth 174 : 691 ~
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