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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제20권 제9호
발행연도
2007.1
수록면
798 - 801 (4page)

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Multilayer transparent electrodes, having a much lower electrical resistance than the widely used transparent conducting oxide electrodes, were prepared by using radio frequency magnetron sputtering. The multilayer structure consisted of five layers, indium tin oxided (ITO)/zinc oxide (ZnO)/Ag/zinc oxide (ZnO)/ITO. With about 50 nm thick ITO films, the multilayer showed a high optical transmittance in the visible range of the spectrum and had color neutrality. The electrical and optical properties of ITO/ZnO/Ag/ZnO/ITO multilayer were changed mainly by Ag film properties, which were affected by the deposition process of the upper layer. Especially ZnO layer was improved to adhesion of Ag and ITO. A high quality transparent electrode, having a resistance as low as and a high optical transmittance of 91 % at 550 nm, was obtained. It could satisfy the requirement for the flexible OLED and LCD.
#Indium tin oxide #Zinc oxide #Transmittance #Multilayer

목차

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참고문헌 (7)

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C. H. Jeong / 2006 / Study on the O2 plasma treatment of indium tin oxide for organic light emitting diodes using inductively coupled plasma / Jpn. J. Appl. Phys. 45 : 2788 ~ google schola C.-Y. Cheng / 2006 / Fabrication of organic light-emitting diode arrays on flexible plastic substrates by imprint lithography / Jpn. J. Appl. Phys. 45 : 8915 ~ google schola Hee-Jin Kang / 2006 / Statistical Modeling of the Pretilt Angle Control inNematic Liquid Crystal using In-situ Photoalignment Methodon Plastic Substrate / Transactions on Ele google schola Hyun-Chan Moon / 2005 / EO Performances of Flexible TN-LCD using in-situ Ultraviolet Exposure during Imidization of Polyimide on the Polymer Film / Transactions on Electrical google schola M.-J. Keum / 2006 / Transparent conductive thin film for top emitting organic light emitting diodes by sputtering method / Jpn. J. Appl. Phys. 45 : 8462 ~ google schola

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