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학술대회자료
저자정보
김경환 (경원대학교) 조범진 (경원대학교) 금민종 (성균관대학교)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 추계학술대회 발표 논문집
발행연도
2006.1
수록면
60 - 63 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2006

고분자 기판상에 제작한 Al이 첨가된 ZnO 박막에 관한 연구
김경환 ,  조범진 ,  금민종 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2006.01 학술대회자료
고분자 기판상에 제작된 ITO 박막의 특성 연구
김경환 ,  조범진 ,  금민종 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2006.01 학술대회자료
가스압 변화에 따라 flexible 기판상에 제작한 Al이 첨가된 ZnO 박막의 특성
김경환 ,  조범진 ,  금민종 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2006.01 학술대회자료

초록· 키워드

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Preparing AZO thin films on the polymer substrate has been widely studied Because AZO thin film has the potential applications. In this study, we prepared AZO thin films on polyethersulfon (PES) at room temperature. The AZO thin films were prepared at $O_2$ gas flow rate of 0.05 and sputtering power of 100W with different film thickness by facing targets sputtering method. The electrical, optical and crystallographic properties of AZO thin films were measured by Hall Effect measurement system, UV/VIS spectrometer, SEM and XRD. From the results, we obtained AZO thin films with a low resistivity, a transmittance of over 80% and c-axis preferred orientation.

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