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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제39권 제1호
발행연도
2006.2
수록면
9 - 12 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2006

ITO, AZO 단층 박막 및 ITO/Ag/ITO, AZO/Ag/AZO 다층박막의 전기적 광학적 특성 평가
안진형 ,  김상호 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2006.04 학술대회자료
RF magnetron sputter에 의해 제조된 AZO/Ag/AZO 다층박막의 Ag 두께가 전기적 광학적 특성에 미치는 영향
안진형 ,  강태원 ,  김동원 외 1명 한국표면공학회지 2006.02 학술저널

2005

AZO/Ag/AZO 다층박막에 있어 Ag 두께와 증착압력이 광학적 전기적 특성에 미치는 영향
안진형 ,  서정은 ,  엄준선 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2005.11 학술대회자료
AZO 투명전도막에 있어 증착압력과 온도가 광학적 전기적 특성에 미치는 영향
안진형 ,  서정은 ,  엄준선 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2005.05 학술대회자료

초록· 키워드

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Al-doped ZnO(AZO)/Ag/AZO multi-layer films deposited on PET substrate by RF magnetron sputtering have a much better electrical properties than Al-doped ZnO single-layer films. The multi-layer structure consisted of three layers, AZO/Ag/AZO, the optimum thickness of Ag layers was determined to be 112Å for high optical transmittance and good electrical conductivity. With about 1800Å thick AZO films, the multi-layer showed a high optical transmittance in the visible range of the spectrum. The electrical and optical properties of AZO/Ag/AZO were changed mainly by thickness of Ag layers. A high quality transparent electrode, having a resistance as low as 6 W/□ and a high optical transmittance of 87% at 550 ㎚, was obtained by controlling Ag deposition parameters.
#AZO #Ag #PET #RF magnetron sputtering #Optical transmission #Sheet resistance

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (2)

참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - / 1977 / Physics of thin films Vol google schola [학술지(정기간행물)] - / 2000 / to be published in Proceedings of Conference on Plasma and Surface Engineering google schola

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