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논문 기본 정보

자료유형
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저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제7권 제4호
발행연도
2006.1
수록면
184 - 188 (5page)

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This work describes efforts in the fabrication and testing of robust microelectromechanical systems (MEMS). Robustness is typically achieved by investigating non-silicon substrates and materials for MEMS fabrication. Some of the traditional MEMS fabrication techniques are applicable to robust MEMS, while other techniques are drawn from other technology areas, such as electronic packaging. The fabrication technologies appropriate for robust MEMS are illustrated through laminated polymer membrane based pressure sensor arrays. Each array uses a stainless steel substrate, a laminated polymer film as a suspended movable plate, and a fixed, surface micromachined back electrode of electroplated nickel. Over an applied pressure range from 0 to 34 kPa, the net capacitance change was approximately 0.14 pF. An important attribute of this design is that only the steel substrate and the pressure sensor inlet is exposed to the flow; i.e., the sensor is self-packaged.
#MEMS #Robustness #Micro fabrication #Capacitive pressure sensor #Lamination

목차

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참고문헌 (7)

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/ 1940. / Theory of Plates and Shells google schola / 2000. / An industrial CMOS process family adapted for the fabrication of smart silicon sensors 84 : 126 ~ google schola / 2000. / Process-dependent thin-film thermal conductivities for thermal CMOS MEMS 9 (1) : 136 ~ google schola / 2003. / Capacitive pressure sensor with monolithically integrated CMOS readout circuit for high temperature applications 97 : 83 ~ google schola / 2004. / Gas flow meter for application in medical equipment for respiratory control study of the housing 110 : 413 ~ google schola

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