지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.1
- 수록면
- 598 - 601 (4page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
RF 스퍼터링법으로 다양한 증착온도에서 Pt 전극(Pt/Ti/SiO2/Si) 위에 SrBi2Nb2O9(SBN) 박막을 제조하였다. 최적의 증착온도는 300℃였으며, 이 SBN 박막은 전기로와 RTA에 의해 각각 500~700℃으로 열처리 하였다. 전기로에서 600℃로 열처리함으로써 표면의 거칠기는 2.42 nm를 나타내었다. SBN 박막의 정전용량밀도는 열처리 온도가 증가함에 따라 증가하였다. 최대 정전용량 밀도는 0.7 ㎌/㎠이었으며, 열처리 온도 700℃에서 얻었다. 유전손실은 1∼1,000 kHz 주파수 범위에서 약 0.03을 나타내었다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (8)
참고문헌 신청
C. Bedoya / 2002 / / J. Phys. 14 : 11850 ~
J. H. Lee / 1999 / / J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng. 12 : 167 ~
Keisuke Saito / 2000 / Method of Distinguishing SrBi2Ta2O9 Phase from Fluorite Phase Using X-Ray Diffraction Reciprocal Space Mapping / Japanese Journal of Applied Physics 39
T. K. Song / 1996 / / Appl. Phys. Lett. 69 : 3839 ~
김두환 / 2010 / MLC NAND 플래시 메모리의 셀 간 간섭현상 감소를 위한 등화기 알고리즘 / 전기학회논문지ABCD 59 (6) : 1095 ~ 1102
J. H. Lee / 1999 / / J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng. 12 : 167 ~
Keisuke Saito / 2000 / Method of Distinguishing SrBi2Ta2O9 Phase from Fluorite Phase Using X-Ray Diffraction Reciprocal Space Mapping / Japanese Journal of Applied Physics 39
T. K. Song / 1996 / / Appl. Phys. Lett. 69 : 3839 ~
김두환 / 2010 / MLC NAND 플래시 메모리의 셀 간 간섭현상 감소를 위한 등화기 알고리즘 / 전기학회논문지ABCD 59 (6) : 1095 ~ 1102
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
열처리 온도에 따른 용액 공정 기반 산화물 반도체 박막 트랜지스터의 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .10
-
Characterization of Cu₂ZnSn(SxSe1-x)₄ Thin Film Solar Cell by Annealing Temperature
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2018 .04
-
Li₃PO₄/SiC의 후열처리에 의한 영향 및 전기적 특성 분석
전기전자학회논문지
2022 .06
-
Annealing Effects of Sputter-deposited Al-C films
대한기계학회 춘추학술대회
2023 .06
-
2 단계 원자층증착법으로 성장시킨 SrTiO₃ 박막에서 중간 열처리 온도의 박막 특성에 대한 영향 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
-
열처리 온도에 따른 다공성 산화 구리 박막의 H₂S 가스 검지 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
-
BaNb₂O6:Eu3+ 박막의 특성에 증착 온도가 미치는 효과
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2015 .06
-
글라스 기판 위에 증착된 Zin Aluminate 박막의 열처리를 통한 소수성 특성의 향상
전기전자재료학회논문지
2020 .01
-
스퍼터링 방식으로 증착된 Cu₂SnS₃ 박막의 열처리 효과
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .05
-
온도 변화에 의한 열전도성 실리콘 고무의 절연 열화 특성
전기전자재료학회논문지
2015 .01
-
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 투명 PI 기판에 증착된 ITO 박막의 특성에 미치 는 열처리의 영향
한국결정성장학회지
2020 .01
-
MOCVD에 의한 Si 기판 위의 Ga2O3 박막 저온 결정 성장과 전기적 특성
한국결정성장학회지
2022 .04
-
탄소강 열처리 공정에 대한 품질공학적 방법 연구
대한인간공학회 학술대회논문집
2021 .11
-
RF 마그네트론 스퍼터링으로 제조한 SnS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 열처리 효과
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
-
Sparse Bayesian Network-based Disturbance Observer for Policy-based Reinforcement Learning
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2023 .10
-
열처리 방식에 따른 실리콘 산화아연 박막의 물성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2015 .07
-
열처리 조건에 따른 다공성 산화 구리 박막의 NO₂가스 검지 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
-
RF 스퍼터링 및 급속열처리 공정으로 제작한 ZnS:Nd 박막의 구조 및 광학적 특성
한국전자통신학회 논문지
2021 .01
-
열처리조건에 따른 MIM 박막의 Capacitance-Voltage 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2015 .07
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0