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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제33권 제4호
발행연도
2020.1
수록면
249 - 254 (6page)

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80 nm 두께의 Zinc Aluminate 박막을 고주파 마그네트론 스퍼터링(Radio Frequency magnetron sputtering)을 통해 유리 기판에 증착하고 접촉각을 분석하기 위해 열처리 하였다. 해당 박막은 간단한 열처리 과정을 통하여 쉽게 친수성에서 소수성으로 변화된다. 열처리에 의한 표면 변화에 의해 접촉각이 111 °까지 증가한 것으로 나타났고, 이 현상은 초과 표면적 과의 관계에 의해 설명하였다. 주변 조건 하에서 노출 시간이 증가함에 따라 열처리된 박막의 접촉각이 감소하였으며, 이는 증착 과정에서 박막 내부에 존재하는 산소 공공에 의한 것이다. 산소 플라즈마를 통해 산소를 이온화하고 열처리한 샘플을 이온화 산소 분위기에서 처리하였다. 산소 플라즈마 처리 후, 감소된 접촉각은 11 일 동안 약 95 °로 유지되었다.

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M. W. Lee / 2010 / Org. Electron 11:854 Crossref J. S. Park / 2018 / J. Micromech. Microeng 28:025004 Crossref A. Nakajima / 2004 / J. Ceram. Soc. Jpn 112:533 Crossref A. Nakajima / 2000 / Thin Solid Films 376:140 Crossref X. Hou / 2007 / Mater. Sci. Eng. A 452:732 Crossref

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