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논문 기본 정보

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저널정보
한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제16권 제2호
발행연도
2015.1
수록면
86 - 89 (4page)

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Uniform ZrO2 nanoballs were synthesized at 700℃ using the inverse replication method through a colloidimprintedcarbon (CIC) template. The structural, dielectric, and conducting properties of the ZrO2 nanoballs wereinvestigated and compared with those of ZrO2 film prepared by sol-gel method and powdered ZrO2 chemical. Boththe monoclinic and cubic phases were found in the ZrO2 balls and film but the ZrO2 chemical showed a monoclinicphase, where the cubic structure is known to be formed at above 2,300℃. ZrO2 nanoballs showed the lowerdielectric property of k = 21.2 at 1 MHz because the 8-coordinated cubic phase in the ZrO2 nanoball produced lowerpolarization than the polarization of the 7-coordinated monoclinic ZrO2 chemical (k = 23.6). The dielectric stabilitywas maintained in each ZrO2 ball, film, and chemical under the applied forward and reverse voltage range (-5 to +5V) at 1 MHz. The ionic conductivities were 7.86 × 10-8/Ω·cm for ZrO2 nanoballs, 3.29 × 10-8 /Ω·cm for ZrO2 chemical,and 6.70 × 10-5/Ω·cm for the thickness of 1,053 nm ZrO2 film at room temperature with the electronic contributionbeing less than 0.006%.

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