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최창식 (한국세라믹기술원) 이지선 (한국세라믹기술원) 이미재 (한국세라믹기술원) 이영진 (한국세라믹기술원) 전대우 (한국세라믹기술원) 안병조 (한경 TEC 주식회사) 김진호 (한국세라믹기술원)
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제30권 제4호
발행연도
2017.4
수록면
199 - 203 (5page)
DOI
https://doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.4.199

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layer-by-layer self-assembly (LBL-SA)법으로 고굴절율을 갖는 ZrO2/PSS 박막을 유리기판 위에 제조하였다. 제조된 박막의 형태와 두께는 (ZrO2/PSS)n 으로 표기 하였고, n=5에서 n=20으로 증가할 때, RMS값은 29.01 nm 에서 8.368 nm로 감소하였다. ZrO2박막은 85%이상의 높은 투과율을 나타냈다. 특히 15회 적층한 박막은 샘플중에 가장 높은 투과율을 나타냈다. (ZrO2/PSS)15 박막은 가시광 영역에서 약 90.8%의 투과율을 나타냈다. 유리기판 위에 코팅된 ZrO2/PSS)15 박막의 굴절률은 막의 두께가 160 nm 일 때, 약 1.52에서 1.74로 증가하였다.

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