LBL-SA법을 이용한 고굴절률 ZrO2 박막 제조

최창식; 이지선; 이미재; 이영진; 전대우; 안병조; 김진호

doi:https://doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.4.199

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저자정보: 최창식 (한국세라믹기술원) 이지선 (한국세라믹기술원) 이미재 (한국세라믹기술원) 이영진 (한국세라믹기술원) 전대우 (한국세라믹기술원) 안병조 (한경 TEC 주식회사) 김진호 (한국세라믹기술원)

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제30권 제4호

발행연도: 2017.4

수록면: 199 - 203 (5page)

DOI: https://doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.4.199

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layer-by-layer self-assembly (LBL-SA)법으로 고굴절율을 갖는 ZrO2/PSS 박막을 유리기판 위에 제조하였다. 제조된 박막의 형태와 두께는 (ZrO2/PSS)n 으로 표기 하였고, n=5에서 n=20으로 증가할 때, RMS값은 29.01 nm 에서 8.368 nm로 감소하였다. ZrO2박막은 85%이상의 높은 투과율을 나타냈다. 특히 15회 적층한 박막은 샘플중에 가장 높은 투과율을 나타냈다. (ZrO2/PSS)15 박막은 가시광 영역에서 약 90.8%의 투과율을 나타냈다. 유리기판 위에 코팅된 ZrO2/PSS)15 박막의 굴절률은 막의 두께가 160 nm 일 때, 약 1.52에서 1.74로 증가하였다.

#Layer-by-layer self-assembly method #High refractive index #Thin film #ZrO2 #Transimittance

참고문헌 (18)

참고문헌 신청

Joseph Lik Hang Chau / 2007 / Transparent high refractive index nanocomposite thin films / Materials Letters 61(14-15):2908~2910

Jae-Ho Kim / 2016 / Control of refractive index by annealing to achieve high figure of merit for TiO2/Ag/TiO2 multilayer films / Ceramics International 42(12):14071~14076

M. Sangermano / 2008 / High refractive index transparent coatings obtained via UV/thermal dual-cure process / Polymer 49(8):2018~2022

G.K Chuah / 1999 / An investigation into the preparation of high surface area zirconia / Catalysis Today 49(1-3):131~139

G CHUAH / 1996 / The influence of preparation conditions on the surface area of zirconia / Applied Catalysis A: General 145(1-2):267~284

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