저온 증착 된 ZrO₂ ALD 박막의 특성

양병찬; 안지환; 신정우

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 양병찬 (서울과학기술대학교) 안지환 (서울과학기술대학교) 신정우 (서울과학기술대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2016년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2016.10

수록면: 629 - 630 (2page)

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#ZrO₂ #ALD #Low temperature

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