Numerical Simulation : Effects of Gas Flow and Heat Transfer on Polymer Deposition in a Plasma Dry Etcher :Effects of Gas Flow and Heat Transfer on Polymer Deposition in a Plasma Dry Etcher

Junghoon Joo

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자료유형: 학술저널

저자정보: Junghoon Joo (Kunsan National University)

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.26 No.6

발행연도: 2017.11

수록면: 184 - 188 (5page)

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Polymer deposition pattern on the ceramic lid surface is analyzed by numerical modeling. Assumption was made that is affected by gas flow pattern from the horizontal and vertical nozzles, temperature profile from the fingerlike branches made of graphite and electrostatic potential effect. Calculated results showed gas flow dynamics is less relevant than two others. Temperature and electrostatic effects are likely determining the polymer deposition pattern based on our numerical simulation results.

#Plasma #Polymer #Deposition #Gas flow #Temperature #Electrostatic #ICP

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Junghoon Joo, Appl. Sci. Conv. Eng. Vol. 23, No. 4, (2014) 169. Junghoon Joo, J. Kor. Inst. Surf. Eng. Vol. 45, No. 4, (2012) 174. H. Kim, W. Yang, and J. Joo, J. Appl. Phys. Vol. 118 (2014) 043304-1. J. Joo, Thin Solid Films, Vol 519 (2011) 6892. S. Lee, J. Kor. Vac. Sci. Technol. Vol. 18, No. 3 (2009) 176.

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