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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제5권 제2호
발행연도
1996.6
수록면
93 - 98 (6page)

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유기금속화학증착법에 의해 Pb(Zr_xTi_(1-x))O₃(PZT) 박막을 Pt/SiO₂/Si(100) 기판위에 성장시켰다. 이들 박막의 조성과 화학적 결합 특성을 조사하기 위하여 X-ray Photoemission Spectroscopy(XPS)를 이용하여 성장 시킨 박막을 분석하였다. 박막표면에서의 조성 및 화학적 결합특성은 박막 내부의 그 것과 다름을 확인할 수 있었다. 박막내부의 Ti 이온의 산화수는 박막표면의 그 것보다 더 작았으며 한편 표면에서의 Pb 농도가 내부에서보다 더 큼을 알 수 있었다. 박막 표면에서의 Pb 이온의 산화상태는 PbO_(흡착)의 형태로 존재하나 박막 내부의 Pb 이온의 그 것은 PbO와 PbTiO₃의 혼합물 형태로 존재한다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 실험결과 및 고찰

4. 결론

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