Cobalt 박막의 선택적 증착을 위한 MOCVD공정 연구

서경천; 신재수; 윤주영; 김진태; 신용현; 이창희; 강상우

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저자정보: 서경천 (한국표준과학연구원) 신재수 (대전대학교) 윤주영 (한국표준과학연구원) 김진태 (한국표준과학연구원) 신용현 (한국표준과학연구원) 이창희 (혜전대학) 강상우 (한국표준과학연구원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제39회 하계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2010.8

수록면: 41 - 41 (1page)

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