기체분자의 MAC를 이용한 압력 게이지의 제작 및 특성 평가 연구

권명회

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자료유형: 학술저널

저자정보: 권명회

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제3권 제4호

발행연도: 1994.12

수록면: 395 - 400 (6page)

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본 연구에서는 LRDC 트랜스듀서를 장착한 변형된 회전 진자를 제작하여, 1×10^(-2) Torr에서 1×10^(-5) Torr 사이의 Ar 압력을 측정하였다. 비구동 회전 진자의 진폭은 가체 분자와의 충돌에 의한 감쇄가 일어난다. 회전 진자의 감쇄에 의한 특성 함수를 측정하여, 본 연구팀은 일반적인 진공 측정 장비로는 측정이 어려운 1×10^(-2) Torr에서 1×10^(-5) Torr 사이의 Ar 압력을 정확하게 측정할 수 있었다.

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