저에너지 (10 - 100 eV) 질소 이온비임에 의해 생성된 규소 질화박막에 대한 LEED, AES, UPS 연구

김병찬; 강헌; 정진욱

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김병찬 강헌 정진욱

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제4회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1993.2

수록면: 116 - 117 (2page)

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