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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제6권 제4호
발행연도
1997.11
수록면
293 - 297 (5page)

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점성진공계(spinning rotor gauge, SRG)는 고진공영역인 1×10^(-5)~100 Pa에서 전달표준기(transfer standard gauge)로 사용되고 있는 진공게이지이다. 제조회사가 각각 Leybold-Heraeus와 MKS회사인 두 개의 SRG에 대해서 질소가스를 사용하여 장기안정성과 적응계수(accommodation coefficient, σ) 결정에 영향을 미치는 변수들인 측정압력, 온도, 최대도달압력(base pressure), 신호분산(signal scattering), 영점(offset)변화에 대한 특성을 10개월에 걸쳐 조사하였다. 이 결과 장기안정특성 및 입력변수들에 의한 영향이 SRG 고유오차인 ±1.0% 이내에 있음을 확인하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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