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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제4권 제1호
발행연도
1995.3
수록면
26 - 31 (6page)

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본 연구에서는 Co/Si계에 대한 이온선 혼합실험을 온도와 이온선량을 변수로 하여 실시하였고, Co/Si계에 대한 상형성 과정을 금속/Si계에 대한 이온선 혼합시의 비정질상 및 결정상 형성예측 모델(ADF Model)과 초기 결정상 예측 모델(PDF Model)을 이용하여 해석하였다. 이온선 혼합은 80 KeV 가속기를 이용하여 상온~400℃의 온도 범위에서 1.0×10^(15)Ar^+㎠~2.0×10^(16)Ar^+/㎠의 이온선량을 변화시키면서 실험하였으며 상 분석은 투과전자현미경(TEM)과 X선 회절 분석을 이용하였다. Co/Si계에서 이온선 혼합시 형성되는 초기 결정상은 Co₂Si이며 이온선량의 증가에 따라 CoSi로 상전이 하였다. 이러한 실험 결과는 비정질상 및 결정상 형성 예측 모델(ADF model)과 초기 결정상 예측 모델(PDF model)의 예측 결과와 매우 잘 일치하고 있다. 이상의 연구 결과로부터 ADF 모델과 PDF 모델을 이용하여 박막에서 형성되는 상을 보다 정확히 예측할 수 있음을 알 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 실험결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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